[發明專利]一種動鏡軸向卸載裝置

無效

• 申請號: 201310204494.0
• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN103278907A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 陳磊;趙立新;馬平;胡松
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;G03F7/207
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 賈玉忠

技術領域

本發明涉及鏡片彈性支撐的領域，具體涉及為一種投影光刻機中物鏡鏡片的安裝與調整，也可用于企業生產中對工件的安裝檢測與調試。

背景技術

投影光刻機中的物鏡系統由多個鏡片構成，其像質已接近衍射極限，每個鏡片的位置細微變化都會對物鏡系統成像質量產生不良影響。由于在制造過程中不可避免的出現加工誤差以及裝配過程中產生的裝配誤差，可利用軸向微調裝置進行調節，實現對鏡片垂向及傾斜調節，校正裝配誤差，提高成像質量。但在長期使用過程中動鏡軸向微調裝置受重力的影響，造成其推力減小從而導致調節能力減弱，降低物鏡系統成像質量。因此，需要對動鏡及動鏡臺階的重力進行釋放，減小動鏡軸向調節微調裝置受重力的不利影響。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：克服現有技術的不足，提供一種動鏡軸向卸載裝置，配合動鏡軸向微調裝置，使得動鏡在長期使用中處于最佳工作狀態，從而保證投影光刻質量。

為了實現所述目的，本發明提供的動鏡軸向微調裝置，解決其技術問題所采用的技術方案是：一種動鏡軸向卸載裝置，其安裝在動鏡框上，它包括卸載裝置基座、外殼、卸載彈簧、柱狀球頭；卸載彈簧與柱狀球頭垂向安裝在基座和外殼之間；其中，卸載彈簧上端與柱狀球頭底部連接，卸載彈簧下端與基座連接；柱狀球頭的頂端透過外殼上端開孔，與動鏡框彈性接觸。

本發明的原理是：本裝置運用了彈性原理，軸向卸載裝置的柱狀球頭與動鏡框臺階彈性接觸，可對動鏡及安裝鏡框起到卸載的作用。

本發明的有益效果是：軸向卸載裝置可對動鏡及安裝鏡框的重力進行釋放，減小動鏡軸向調節微調裝置受重力的不利影響，提高成像質量。

附圖說明

圖1為本發明裝置結構剖視圖；

圖2為本發明裝置結構俯視圖；

圖3為本發明動鏡框剖視圖；

圖4為本發明動鏡框俯視圖。

具體實施方式

如圖1所示，本發明由卸載裝置基座4、外殼3、卸載彈簧2和柱狀球頭1組成，通過底部基座4固定于動鏡框8上，本發明頂部通過柱狀球頭1與安裝動鏡的臺階9彈性接觸。卸載彈簧2可根據實際情況進行更換，以適應不同的負載要求。

如圖2，圖3所示，本發明通過基座4上的三個定位孔5、6、7，固定于動鏡基座18上。動鏡框8為T型圓柱型結構，中間開有一圓孔11并帶有一臺階9，動鏡10放在臺階9上。本裝置15的軸向與物鏡光軸相平行，保證本裝置只在軸向上有卸載功能，而不會影響到物鏡在水平面的位置。

如圖4所示，為受力均勻，三個本發明裝置15以120°等分均勻安裝于動鏡基座18上；與同樣以120°等分均勻安裝于動鏡基座18上的三個軸向微調裝置12成交叉分布。

投影物鏡系統在長期使用過程中，動鏡軸向微調裝置受重力的影響造成其推力減小從而導致調節能力減弱時，本裝置能對動鏡及動鏡臺階在軸向上起到彈性支撐卸載的作用，減小動鏡軸向調節微調裝置受重力的不利影響。

以上所述，僅為本發明中的具體實施方式，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉該技術的人在本發明所揭露的技術范圍內，可理解想到的變換或替換，都應涵蓋在本發明的包含范圍之內。