[發明專利]一種機器視覺濾光片的制作方法

無效

• 申請號: 201310204282.2
• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN103278874A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 韓秀峰;朱凱敏
• 申請（專利權）人: 上海梅軒實業有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;C03C17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種機器視覺濾光片的制作方法，其特征在于步驟如下：

A、切割：將玻璃基片按照設備的要求尺寸進行切割，其中玻璃基片采用無色玻璃基片；

B、清洗：將切割后的玻璃基片放入純水中浸泡，并使用超聲波進行振蕩清洗；

C、干燥：使用風干的方式對清洗后的玻璃基片進行干燥；

D、鍍制主膜：將玻璃基片放入鍍膜腔室中，將鍍膜腔室的真空度抽至0.003Pa，玻璃基片溫度預熱至320℃后，開啟工藝氣體和霍爾離子源，采用離子束輔助電子束蒸發鍍膜工藝進行主膜的鍍制；

E、鍍制副膜：鍍制好主膜后，使用與步驟D中相同的工藝在玻璃基片的另一面鍍制副膜；

F、后處理：使用內圓切割機對鍍膜完畢的玻璃基片進行磨邊處理。

2.根據權利要求1所述的機器視覺濾光片的制作方法，其特征在于：步驟C中，使用低溫大風量吹干的方式進行干燥。

3.根據權利要求1所述的機器視覺濾光片的制作方法，其特征在于：步驟D中，主膜包括非耦合層和耦合層，采用光學膜厚監控法控制非耦合層的膜厚；采用晶體振蕩法控制耦合層的膜厚。

4.根據權利要求1所述的機器視覺濾光片的制作方法，其特征在于：步驟E中，采用晶體振蕩法控制副膜的膜厚。

5.根據權利要求1所述的機器視覺濾光片的制作方法，其特征在于：在步驟D和步驟E中，使用帶有冷卻系統的真空測量規管對真空度進行檢測。

6.根據權利要求1所述的機器視覺濾光片的制作方法，其特征在于：步驟F中，所述內圓切割機的切割刀的刀厚選擇為0.3毫米，采用低溫熱熔膠將待加工玻璃基片固定在機器襯底上。