[發(fā)明專利]具有靜電消除功能的工件傳輸裝置

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• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN104176431A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設計）人: 徐品烈;劉亞奇;么文靜;唐亮
• 申請（專利權）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號: B65G17/12
• 分類號: B65G17/12;B65G47/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

技術領域

本發(fā)明涉及半導體加工制造技術領域，特別是指一種具有靜電消除功能的工件傳輸裝置。

背景技術

半導體器件（如集成電路、LED等）處理加工過程中，在一個加工工位對工件完成相應處理后，往往需要從當前加工工位轉移到另外一個加工工位進行下一步處理，現(xiàn)有技術中一般是由工件處理裝置在加工工位之間搬運工件，由于加工工位之間存在一定距離，而工件處理裝置的運動速度有限，因此工件的傳輸和處理效率比較低，進而導致工件的生產成本比較高。

另外，在工件進入工件處理裝置之前，還需要對工件進行各種預處理，進一步增加了時間消耗。

發(fā)明內容

本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種具有靜電消除功能的工件傳輸裝置，對工件采用傳送的方式，并在傳送過程中對工件進行靜電消除處理，能夠減少工件傳遞和靜電消除處理的時間消耗，提高工件處理效率。

為解決上述技術問題，本發(fā)明的實施例提供技術方案如下：

一方面，提供一種工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，所述工件傳輸裝置包括：

設置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；

設置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動組件；

設置在所述支撐組件上、用于為所述傳動組件提供傳送動力的動力組件；

設置在所述傳動組件側，用于對所述工件進行靜電消除處理的靜電消除組件。

具體地，所述傳動組件包括：

設置在所述支撐組件上的導軌；

設置在所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；

固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具；

設置在所述導軌內側、用于帶動所述工件支具旋轉從而帶動所述滑塊沿所述導軌滑動的同步帶。

進一步地，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌。

進一步地，所述傳動組件由動力組件驅動，實現(xiàn)自動和準確的工件傳輸。

進一步地，所述動力組件包括：

電機；

與所述電機連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對應連接的第一帶輪；

與所述第一輪軸相對設置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對應連接的第二帶輪；

其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機的作用下旋轉，通過與所述同步帶的嚙合帶動所述同步帶轉動，進而傳動所述第二帶輪旋轉。

進一步地，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機連接。

進一步地，所述支撐組件包括：

支撐基板；

設置在所述支撐基板上的上支板立柱；

設置在所述上支板立柱上的上支板；

其中，所述電機固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設置在所述上支板和支撐基板之間。

具體地，所述傳動組件包括：

設置在所述支撐組件上的導軌，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌；

位于所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；

固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具；

所述動力組件包括：

設置在所述支撐組件上，以所述導軌為定子，以所述滑塊為動子的電機。進一步地，所述滑塊作為電機動子能夠帶動工件支具實現(xiàn)自動和準確的工件傳輸。

進一步地，所述支撐組件包括：

支撐基板；

其中，所述電機固定在所述支撐基板上。

其中，所述靜電消除組件包括：

設置在所述導軌上方的固定座；

設置在所述固定座上方、與所述固定座可旋轉連接的旋轉座；

固定在所述旋轉座上的靜電消除裝置。

本發(fā)明的實施例具有以下有益效果：

上述方案中，對工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時間，提高工件處理效率。另外在傳送過程中還可以對工件進行靜電消除預處理，進一步節(jié)省工件的生產時間，提高工件的生產效率，從而最終能夠降低工件的生產成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例一的工件傳輸裝置的結構示意圖；

圖2為圖1所示工件傳輸裝置的爆炸示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例一的工件傳輸裝置的另一結構示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例二的工件傳輸裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的實施例要解決的技術問題、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。