[發(fā)明專利]工件傳輸裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310203768.4
• 申請(qǐng)日: 2013-05-28
• 公開（公告）號(hào): CN104176430A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐亮;周啟舟;郎平;徐品烈;郝術(shù)壯;么文靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B65G17/12
• 分類號(hào): B65G17/12;B65G23/06;B65G21/22
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種工件傳輸裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件（如集成電路、LED等）處理加工過程中，在一個(gè)加工工位對(duì)工件完成相應(yīng)處理后，往往需要從當(dāng)前加工工位轉(zhuǎn)移到另外一個(gè)加工工位進(jìn)行下一步處理，現(xiàn)有技術(shù)中一般是由工件處理裝置在加工工位之間搬運(yùn)工件，由于加工工位之間存在一定距離，而工件處理裝置的運(yùn)動(dòng)速度有限，因此工件的傳輸和處理效率比較低，進(jìn)而導(dǎo)致工件的生產(chǎn)成本比較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種工件傳輸裝置，對(duì)工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時(shí)間，提高工件處理效率。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實(shí)施例提供技術(shù)方案如下：

一方面，提供一種工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，所述工件傳輸裝置包括：

設(shè)置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；

設(shè)置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動(dòng)組件；

設(shè)置在所述支撐組件上、用于為所述傳動(dòng)組件提供傳送動(dòng)力的動(dòng)力組件。

具體地，所述傳動(dòng)組件包括：

設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌；

設(shè)置在所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊；

固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具；

設(shè)置在所述導(dǎo)軌內(nèi)側(cè)、用于帶動(dòng)所述工件支具旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的同步帶。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌。

進(jìn)一步地，所述傳動(dòng)組件由動(dòng)力組件驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和準(zhǔn)確的工件傳輸。

進(jìn)一步地，所述動(dòng)力組件包括：

電機(jī)；

與所述電機(jī)連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對(duì)應(yīng)連接的第一帶輪；

與所述第一輪軸相對(duì)設(shè)置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對(duì)應(yīng)連接的第二帶輪；

其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機(jī)的作用下旋轉(zhuǎn)，通過與所述同步帶的嚙合帶動(dòng)所述同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而傳動(dòng)所述第二帶輪旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步地，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機(jī)連接。

進(jìn)一步地，所述支撐組件包括：

支撐基板；

設(shè)置在所述支撐基板上的上支板立柱；

設(shè)置在所述上支板立柱上的上支板；

其中，所述電機(jī)固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設(shè)置在所述上支板和支撐基板之間。

具體地，所述傳動(dòng)組件包括：

設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌；

位于所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊；

固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具；

所述動(dòng)力組件包括：

設(shè)置在所述支撐組件上，以所述導(dǎo)軌為定子，以所述滑塊為動(dòng)子的電機(jī)。進(jìn)一步地，所述滑塊作為電機(jī)動(dòng)子能夠帶動(dòng)工件支具實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和準(zhǔn)確的工件傳輸。

進(jìn)一步地，所述支撐組件包括：

支撐基板；

其中，所述電機(jī)固定在所述支撐基板上。

本發(fā)明的實(shí)施例具有以下有益效果：

上述方案中，對(duì)工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時(shí)間，提高工件處理效率。另外在傳送過程中還可以對(duì)工件進(jìn)行如加熱、點(diǎn)膠、位置對(duì)準(zhǔn)、消除靜電等預(yù)處理，進(jìn)一步節(jié)省工件的生產(chǎn)時(shí)間，提高工件的生產(chǎn)效率，從而最終能夠降低工件的生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一的工件傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示工件傳輸裝置的爆炸示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例二的工件傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的實(shí)施例要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

本發(fā)明的實(shí)施例針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中工件的傳輸方式導(dǎo)致工件處理效率比較低的問題，提供一種工件傳輸裝置，對(duì)工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時(shí)間，提高工件處理效率。

本發(fā)明實(shí)施例的工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，所述工件傳輸裝置包括：

設(shè)置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；

設(shè)置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動(dòng)組件；