[發明專利]具有加熱功能的工件傳輸裝置

在審

• 申請號: 201310203119.4
• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN104183526A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 唐亮;朱偉;葉樂志;郎平
• 申請（專利權）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種具有加熱功能的工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，其特征在于，所述工件傳輸裝置包括：

設置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；

設置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動組件；

設置在所述支撐組件上、用于為所述傳動組件提供傳送動力的動力組件；

設置在所述傳動組件側，用于對所述工件進行加熱處理的加熱組件。

2.根據權利要求1所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動組件包括：

設置在所述支撐組件上的導軌；

設置在所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；

固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具；

設置在所述導軌內側、用于帶動所述工件支具旋轉從而帶動所述滑塊沿所述導軌滑動的同步帶。

3.根據權利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌。

4.根據權利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動組件由動力組件驅動，實現自動和準確的工件傳輸。

5.根據權利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述動力組件包括：

電機；

與所述電機連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對應連接的第一帶輪；

與所述第一輪軸相對設置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對應連接的第二帶輪；

其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機的作用下旋轉，通過與所述同步帶的嚙合帶動所述同步帶轉動，進而傳動所述第二帶輪旋轉。

6.根據權利要求5所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述第一輪軸通過聯軸器與所述電機連接。

7.根據權利要求5所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述支撐組件包括：

支撐基板；

設置在所述支撐基板上的上支板立柱；

設置在所述上支板立柱上的上支板；

其中，所述電機固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設置在所述上支板和支撐基板之間。

8.根據權利要求1所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動組件包括：

設置在所述支撐組件上的導軌，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌；

位于所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；

固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具；

所述動力組件包括：

設置在所述支撐組件上，以所述導軌為定子，以所述滑塊為動子的電機。

9.根據權利要求8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述滑塊作為電機動子能夠帶動工件支具實現自動和準確的工件傳輸。

10.根據權利要求8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述支撐組件包括：

支撐基板；

其中，所述電機固定在所述支撐基板上。

11.根據權利要求2或8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述加熱組件包括：

設置在所述導軌上方的至少一個加熱器。

12.根據權利要求11所述的工件傳輸裝置，其特征在于，當所述加熱組件包括有至少兩個加熱器時，在所述傳動組件的傳動方向上，所述至少兩個加熱器的設定溫度逐漸升高。