[發(fā)明專利]電流施加裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310202946.1
• 申請(qǐng)日: 2013-05-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103543302A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 赤堀重人;山岸弘幸;長(zhǎng)谷川聰志;山路陽(yáng)子;神原將郎;平山心祐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 本田技研工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R3/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及例如應(yīng)用于半導(dǎo)體檢查裝置等測(cè)頭裝置中的電流施加裝置。

背景技術(shù)

在以往，已知有在對(duì)被檢查體的特性進(jìn)行檢查時(shí)使用的作為電流施加裝置的測(cè)頭（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。

專利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的測(cè)頭具備：桿形狀的母材，其形成主體；作為形成于母材的表面的底層的鎳鍍層和作為最表層的金鍍層；以及多個(gè)四棱錐狀突起，它們呈格子狀地形成在母材的一端部并與被檢查體接觸。

根據(jù)上述測(cè)頭，能夠均勻地分散與被檢查體接觸時(shí)的載荷，延緩金鍍層的磨損的加劇，其結(jié)果是，能夠有效地延長(zhǎng)測(cè)頭的接觸穩(wěn)定性和壽命。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2007-218675號(hào)公報(bào)

然而，在上述專利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的測(cè)頭中，存在這樣的情況：與被檢查體接觸的多個(gè)四棱錐狀突起部分抵接于被檢查體的表面，多個(gè)四棱錐狀突起無(wú)法與被檢查體的表面均一地接觸。

此外，當(dāng)多個(gè)四棱錐狀突起磨損時(shí)，需要更換整個(gè)測(cè)頭。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明正是為了解決上述課題而完成的，其目的在于提供一種電流施加裝置，能夠使與被檢查體面接觸的接觸體均一地接觸被檢查體的表面，從接觸體向被檢查體良好地施加電流，并且能夠只更換該接觸體。

（1）一種電流施加裝置（例如，后述的測(cè)頭裝置1、1a、1b），其與被檢查體（例如，后述的功率半導(dǎo)體H）壓力接觸并施加電流，所述電流施加裝置的特征在于，其具備：接觸體（例如，后述的接觸體2），其與被檢查體面接觸；以及按壓體（例如，后述的按壓體3），其將所述接觸體按壓到所述被檢查體，所述接觸體和所述按壓體以分體的方式構(gòu)成，所述按壓體對(duì)所述接觸體的多個(gè)區(qū)域分別施加按壓力（例如，后述的按壓力F），并且對(duì)所述接觸體通電。

根據(jù)（1）的發(fā)明，按壓體分別對(duì)接觸體的多個(gè)區(qū)域施加按壓力，使接觸體相對(duì)于被檢查體的表面的接觸面壓力均一。由此，接觸體能夠與被檢查體的表面均一地接觸。而且，由于按壓體均一地按壓接觸體并與接觸體整體接觸，電流被良好地供給至接觸體。因此，能夠從接觸體向被檢查體良好地施加電流。

并且，由于接觸體和按壓體以分體的方式構(gòu)成，因此能夠只更換壽命短的接觸體，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。

（2）根據(jù)（1）所述的電流施加裝置，其特征在于，所述按壓體具備多個(gè)導(dǎo)電性彈性體（例如，后述的導(dǎo)電性2階彈簧31、導(dǎo)電性彈簧32）。

根據(jù)（2）的發(fā)明，按壓體具備分別對(duì)接觸體的多個(gè)區(qū)域施加按壓力的多個(gè)導(dǎo)電性彈性體，多個(gè)導(dǎo)電性彈性體取得各導(dǎo)電性彈性體的按壓力與收縮之間的平衡而對(duì)接觸體與被檢查體的表面之間的平行度進(jìn)行調(diào)整，使接觸體相對(duì)于被檢查體的表面的接觸面壓力均一。由此，接觸體能夠與被檢查體的表面均一地接觸。而且，多個(gè)導(dǎo)電性彈性體在各自的彎曲方向靈活地活動(dòng)，容許相對(duì)于接觸體的接觸位置的偏移和撓曲。由此，接觸體相對(duì)于被檢查體的表面的接觸狀態(tài)不受相對(duì)于接觸體的接觸位置的偏移和撓曲的影響。而且，多個(gè)導(dǎo)電性彈性體均一地按壓接觸體并與接觸體整體接觸，因此電流被良好地供給至接觸體。因此，能夠從接觸體向被檢查體良好地施加電流。

并且，由于接觸體和多個(gè)導(dǎo)電性彈性體以分體的方式構(gòu)成，因此能夠只更換壽命短的接觸體，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。

（3）根據(jù)（1）或（2）所述的電流施加裝置，其特征在于，所述接觸體由與被檢查體接觸的表面層（例如，后述的鎳層21）、和支承所述表面層的支承層（例如，后述的銅層22）構(gòu)成，所述支承層比所述表面層軟。

根據(jù)（3）的發(fā)明，接觸體的支承層比表面層軟，從而使施加至接觸體的各區(qū)域的按壓力進(jìn)一步分散。由此，接觸體能夠與被檢查體的表面更為可靠且均一地接觸。

（4）根據(jù)（1）至（3）中的任一項(xiàng)所述的電流施加裝置，其特征在于，在所述接觸體的與被檢查體接觸的表面（例如，后述的表面2f）具有微小突起（例如，后述的微小突起23），該微小突起只被插入至被檢查體的表層。

根據(jù)（4）的發(fā)明，接觸體的與被檢查體接觸的表面具有微小突起，該微小突起只被插入至被檢查體的表層。因此，接觸體能夠在微小突起插入了表層的狀態(tài)下可靠地向被檢查體施加電流。而且，微小突起只被插入至被檢查體的表層，不會(huì)使被檢查體自身受到損傷。

（5）根據(jù)（4）所述的電流施加裝置，其特征在于，具有所述微小突起的接觸體使用模具（例如，后述的模具11）通過(guò)電鑄被制造而成，在所述模具的表面（例如，后述的表面11f）形成有與所述微小突起對(duì)應(yīng)的凹部形狀（例如，后述的凹部形狀111）。

這里，所謂電鑄是利用電鍍法進(jìn)行的金屬制品的制造或者復(fù)制方法。