[發(fā)明專(zhuān)利]一種可實(shí)現(xiàn)寬頻率范圍調(diào)諧的片上可變電感無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310200688.3 | 申請(qǐng)日: | 2013-05-27 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN103325793A | 公開(kāi)(公告)日: | 2013-09-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李巍;朱寧 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 復(fù)旦大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L27/12 | 分類(lèi)號(hào): | H01L27/12;H01L23/522 |
| 代理公司: | 上海正旦專(zhuān)利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陸飛;盛志范 |
| 地址: | 200433 *** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 實(shí)現(xiàn) 寬頻 范圍 調(diào)諧 可變 電感 | ||
1.一種用標(biāo)準(zhǔn)集成電路工藝設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)寬頻率范圍調(diào)諧的片上可變電感,其特征在于:采用八層金屬互連線的標(biāo)準(zhǔn)CMOS層次關(guān)系,不同金屬層通過(guò)通孔連接,具體由五個(gè)電感線圈L1~L5組成,其中,L1為主線圈,L2~L5為次級(jí)線圈;每一個(gè)電感線圈由最高層金屬N8的金屬互連線實(shí)現(xiàn),其中,在主線圈L1的中點(diǎn),通過(guò)通孔VIA7將第七層金屬N7和第八層金屬N8相連,將主線圈L1的中點(diǎn)利用金屬層N7引出作為中心抽頭;電感線圈L2位于主線圈L1的內(nèi)部,電感線圈L3和電感線圈L4分別位于主線圈L1的左邊和右邊,電感線圈L5位于主線圈L1的前邊;
采用晶體管M1~M3作為開(kāi)關(guān),由晶體管M1控制電感線圈L2電流的通斷,由晶體管M3控制電感線圈L5電流的通斷,由晶體管M2控制電感線圈L3、L4中電流的通斷,從而改變主線圈L1中的等效電感值;其中,電感線圈L3和電感線圈L4作為同一個(gè)電感線圈使用,采用相同的晶體管M2控制,以保持可變電感的對(duì)稱(chēng)性;次級(jí)線圈L2~L5的兩端通過(guò)過(guò)孔和晶體管M1~M3的源漏在金屬層N1相連接。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無(wú)源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專(zhuān)門(mén)適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的無(wú)源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專(zhuān)門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過(guò)這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專(zhuān)門(mén)適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的
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