[發(fā)明專利]復(fù)合材料的微機(jī)電裝置與其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310198204.6
• 申請(qǐng)日: 2013-05-24
• 公開（公告）號(hào): CN104071740A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇中源;黃肇達(dá);李宗璟;許郁文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): B81B3/00
• 分類號(hào): B81B3/00;B81C1/00;G01C19/56
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 曹玲柱

1.一種復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其特征在于，包括：

振動(dòng)單元，用以沿第一軸向來(lái)回振動(dòng)，其中該振動(dòng)單元包括：

剛性元件，包括第一表面、第二表面以及第三表面，其中該第一表面面向該第一軸向的第一方向，該第二表面面向該第一軸向的第二方向，其中該第一方向相反于該第二方向，該第三表面連接該第一表面與該第二表面；

第一材料，設(shè)置于該剛性元件的該第一表面與該第二表面上；以及

第二材料，為導(dǎo)電材料且設(shè)置于該第一材料上并延伸至該剛性元件，使該第二材料電性連接至該剛性元件，

其中，溫度變化時(shí)，該第一材料的楊氏系數(shù)變化方向與該剛性元件的楊氏系數(shù)變化方向相反。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其中該第二材料延伸至該剛性元件的該第三表面，使該第二材料電性連接至該剛性元件的該第三表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其中該剛性元件的材料為硅且該第一材料包括二氧化硅。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其中該第二材料包括多晶硅。

5.一種復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其特征在于，包括：

振動(dòng)單元，包括：

質(zhì)量塊，該質(zhì)量塊為剛性元件，用以沿第一軸向來(lái)回振動(dòng)，其中該質(zhì)量塊包括第一表面、第二表面以及第三表面，其中該第一表面面向該第一軸向的一第一方向，該第二表面面向該第一軸向的第二方向，其中該第一方向相反于該第二方向，該第三表面連接該第一表面與該第二表面；以及

可撓曲元件，連接到該質(zhì)量塊；

第一材料，設(shè)置于該質(zhì)量塊的該第一表面與該第二表面上；以及

第二材料，為導(dǎo)電材料且設(shè)置于該第一材料并延伸至該質(zhì)量塊，使該第二材料電性連接至該質(zhì)量塊，

其中，溫度變化時(shí)，該第一材料的楊氏系數(shù)變化方向與該質(zhì)量塊的楊氏系數(shù)變化方向相反。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其中該第二材料延伸至該質(zhì)量塊的該第三表面，使該第二材料電性連接至該質(zhì)量塊的該第三表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其中該質(zhì)量塊的材料為硅且該第一材料是二氧化硅。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其中該第二材料包括多晶硅。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其中該第一材料覆蓋整個(gè)該第一表面及整個(gè)該第二表面且該質(zhì)量塊的斷面寬度w1與該第一材料的斷面寬度w2滿足下列方程式：

(w136w12·w2+2w23)=CT,]]>其中C_T為溫度常數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其特征在于，還包括：

電極，沿該第一軸向設(shè)置于該質(zhì)量塊的兩側(cè)；

第三材料，設(shè)置于該電極沿該第一軸向來(lái)回振動(dòng)方向的外表面；以及

第四材料，為導(dǎo)電材料且設(shè)置于該第三材料并延伸至該電極的下表面，

其中，該第三材料包括二氧化硅且第四材料包括多晶硅。

11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合材料的微機(jī)電裝置，其特征在于，還包括：

固定座，其中，該可撓曲元件連接該固定座及該質(zhì)量塊的節(jié)點(diǎn)。