[發明專利]一種集成光波導三維電場傳感器

無效

• 申請號: 201310197445.9
• 申請日: 2013-05-24
• 公開（公告）號: CN103336183A
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發明（設計）人: 谷山強;孫豹;陳福深;向念文;張家洪;馮萬興;嚴碧武;李濤
• 申請（專利權）人: 國網電力科學研究院武漢南瑞有限責任公司
• 主分類號: G01R29/12
• 分類號: G01R29/12
• 代理公司: 武漢帥丞知識產權代理有限公司 42220
• 代理人: 朱必武;李南平

1.一種集成光波導三維電場傳感器，包括三只相同的LiNbO_3?集成?M-Z?型電場傳感器、正三棱柱支架，其特征在于：所述的三只LiNbO_3?集成?M-Z?型電場傳感器分別固定在正三棱柱支架的三個側面上，每只集成光學電場傳感器和其所在正三棱柱側面的側邊平行，且每只集成光學電場傳感器的電極與兩平行光波導臂的夾角范圍在54.6°至54.8之間。

2.如權利要求1所述的集成光波導三維電場傳感器，其特征在于：所述的每只集成光學電場傳感器的電極與兩平行光波導臂的夾角為54.7°。

3.如權利要求1所述的集成光波導三維電場傳感器，其特征在于：所述的LiNbO_3?集成M-Z?型電場傳感器包括：LiNbO_3?襯底上的馬赫曾德爾干涉儀式光波導、金屬金（Au）電極以及光波導和電極之間的二氧化硅緩沖層。

4.如權利要求3所述的集成光波導三維電場傳感器，其特征在于：所述的馬赫曾德爾干涉儀式光波導由輸入Y分支光波導、兩平行光波導臂和輸出Y分支光波導三部分組成。

5.如權利要求1、2、3或4所述的集成光波導三維電場傳感器，其特征在于：所述的每只集成光學電場傳感器的電極由金屬金電極構成。