[發(fā)明專利]一種柔性薄膜溫差電池及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310197291.3
• 申請日: 2013-05-24
• 公開（公告）號: CN103325935A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 范平;鄭壯豪;梁廣興;陳天寶;蔡兆坤;張東平;羅景庭
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳大學(xué)
• 主分類號: H01L35/32
• 分類號: H01L35/32;H01L35/34
• 代理公司: 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44268
• 代理人: 劉文求;楊宏

1.一種柔性薄膜溫差電池的制作方法，其特征在于，

A、對第一、第二柔性絕緣基片進行清洗；

B、在第一柔性絕緣基片上濺射鍍制P型熱電薄膜，在第二柔性絕緣基片上濺射鍍制N型熱電薄膜；

C、分別在鍍制好P型熱電薄膜和N型熱電薄膜一端的膜層上鍍制作為引出電極的金屬導(dǎo)電薄膜層；在對應(yīng)的另外一端，同時在P型熱電薄膜、N型熱電薄膜層側(cè)面和第一、第二柔性絕緣基片側(cè)面鍍制金屬連接電極薄膜層；

D、將鍍制有P型熱電薄膜的第一柔性絕緣基片和鍍制有N型熱電薄膜的第二柔性絕緣基片的背面進行粘合，將兩端的金屬連接電極薄膜層進行連接形成PN結(jié)薄膜層。

2.如權(quán)利要求1所述的柔性薄膜溫差電池的制作方法，其特征在于，所述第一柔性絕緣基片和第二柔性絕緣基片的厚度為0.01mm~10mm，可彎曲90度以上。

3.如權(quán)利要求1所述的柔性薄膜溫差電池的制作方法，其特征在于，所述P型熱電薄膜和N型熱電薄膜的厚度為10nm-100μm。

4.如權(quán)利要求1所述的柔性薄膜溫差電池的制作方法，其特征在于，所述引出電極的金屬導(dǎo)電薄膜層的厚度為10nm-10μm。

5.如權(quán)利要求1所述的柔性薄膜溫差電池的制作方法，其特征在于，所述PN結(jié)薄膜層厚度為10nm-10μm。

6.如權(quán)利要求1所述的柔性薄膜溫差電池的制作方法，其特征在于，所述第一、第二柔性絕緣基片側(cè)面的金屬連接電極薄膜層上通過金屬薄膜沉積實現(xiàn)連接形成PN結(jié)薄膜層或者通過激光焊接金屬連接電極薄膜層實現(xiàn)連接形成PN結(jié)薄膜層。

7.如權(quán)利要求6所述的柔性薄膜溫差電池的制作方法，其特征在于，當?shù)谝弧⒌诙嵝越^緣基片側(cè)面的金屬連接電極薄膜層通過金屬薄膜沉積實現(xiàn)連接形成PN結(jié)薄膜層時，所形成金屬薄膜沉積層厚度為10?nm以上。

8.一種柔性薄膜溫差電池，其特征在于，所述柔性薄膜溫差電池是利用如權(quán)利要求1所述的柔性薄膜溫差電池的制作方法制成。