[發明專利]防碰撞懸浮拋光裝置

有效

• 申請號: 201310197128.7
• 申請日: 2013-05-22
• 公開（公告）號: CN103317430A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 張利;金明生;單曉杭;孫建輝
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/34;B24B53/12
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

1.一種防碰撞懸浮拋光裝置，包括機座、懸浮基盤、研磨盤和修正環，所述懸浮基盤與加壓組件連接，所述懸浮基盤卡裝在修正環內，所述修正環安裝在研磨盤上，所述研磨盤通過主驅動器繞固定中心軸線轉動，所述懸浮基盤與研磨盤相對面沿圓周方向設有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充滿拋光液，所述楔形槽和加工工位間隔設置；其特征在于：所述拋光裝置還包括第一永磁環和第二永磁環，所述第一永磁環套裝在懸浮基盤外表面，所述第二永磁環套裝在修正環內表面，所述第一次永磁環和第二永磁環之間存在間隙且第一永磁環外圈和第二永磁環內圈磁性相同。

2.如權利要求1所述的防碰撞懸浮拋光裝置，其特征在于：所述加壓組件為電磁加壓組件，所述電磁加壓組件包括電磁鐵和壓力傳感器，所述電磁鐵固定在機座上且與懸浮基盤同心，所述電磁鐵與機座之間安裝有壓力傳感器，所述懸浮基盤為鐵磁體。