[發明專利]一種雙頻離子源有效
| 申請號： | 201310197028.4 | 申請日： | 2013-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN103247504A | 公開（公告）日： | 2013-08-14 |
| 發明（設計）人： | 王朝陽;宮睿 | 申請（專利權）人： | 無錫啟暉光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J27/20 | 分類號： | H01J27/20;H01J37/147 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 賀翔 |
| 地址： | 214174 江蘇省無錫市惠山經濟*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 雙頻 離子源 | ||
1.一種雙頻離子源，包括背板、放電室、柵極和中和器，所述放電室的后端由背板遮蓋封閉，背板上設有氣體輸入孔，柵極安裝在放電室前端，中和器設置在柵極等離子體發射口處；其特征在于，所述放電室為圓筒式并分為兩段，前段為小直徑段，后段為大直徑段，在兩段放電室外緣設置兩級射頻感應線圈。
2.根據權利要求1所述的雙頻離子源，其特征在于，所述兩級射頻感應線圈連接兩個獨立的電源，其中一個頻率是60兆赫，對應的射頻感應線圈繞在小直徑段，另一個頻率是13.6兆赫，對應的射頻感應線圈繞在大直徑段。
3.根據權利要求1或2所述的雙頻離子源，其特征在于，60兆赫的線圈匝數為6匝，匝間距離為10mm，13.6兆赫匝數為4匝，匝間距離為8mm，兩個線圈外均裹有1mm厚的絕緣層，感應線圈選用銅管，內部通有去離子水冷卻。
4.根據權利要求1或2所述的雙頻離子源，其特征在于，所述小直徑與大直徑的直徑之比為D1：D2=1：1.2。
5.根據權利要求1或2所述的雙頻離子源，其特征在于，在放電室大直徑段后部接近背板處平行設置均氣用的屏蔽板。
6.根據權利要求1或2所述的雙頻離子源，其特征在于，放電室壁材料選用小復合系數的石英。
7.根據權利要求1或2所述的雙頻離子源，其特征在于，在背板外部開有一環形水槽并通入冷卻水。
8.根據權利要求1或2所述的雙頻離子源，其特征在于，柵極采用包括引出柵、加速柵和抑制柵的三柵離子光學系統。
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