[發(fā)明專利]氣囊正壓裝置及構(gòu)建高潔凈度工作腔的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310196855.1
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN103307662A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王奉瑾
• 申請（專利權(quán)）人: 王奉瑾
• 主分類號: F24F1/00
• 分類號: F24F1/00
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 張全文

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于高潔凈度工作環(huán)境構(gòu)建領(lǐng)域，尤其涉及氣囊正壓裝置及構(gòu)建高潔凈度工作腔的方法。

背景技術(shù)

在諸多電子類產(chǎn)品的生產(chǎn)中，均要求生產(chǎn)環(huán)境處于無塵的工作環(huán)境之下，對于空氣潔凈度有著極高的要求。特別地，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，對工作環(huán)境的空氣凈潔度有點極高的要求。

目前，半導(dǎo)體一般是在高凈潔度工作室內(nèi)制造，但由于半導(dǎo)體制造過程中，相關(guān)的半導(dǎo)體機械設(shè)備會產(chǎn)生大量的熱，從而導(dǎo)致工作室內(nèi)氣壓上升，使得工作室內(nèi)的氣體外泄。而當(dāng)停止生產(chǎn)時，相關(guān)的半導(dǎo)體機械設(shè)備也停止工作，在工作室內(nèi)熱量與外界平衡過程中，會使得工作室內(nèi)氣壓下降，使得外界的氣體進(jìn)入工作室內(nèi)，這樣會將外界氣體帶入工作室內(nèi)，上述過程即所謂高凈潔度工作室的呼吸效應(yīng)。這樣，在吸氣過程中，將不可避免的將外部帶有塵埃的氣體帶進(jìn)所述工作室內(nèi)，從而造成所述工作室凈潔度不佳。

對此，現(xiàn)有技術(shù)是通過將工作室進(jìn)行密封處理，通過密封將工作室工作過程中完全與外界隔離，這樣使得工作室的建造困難，造價極高。另外，工作人員在工作室內(nèi)工作需要佩戴具有的呼吸面具，工作環(huán)境相當(dāng)?shù)膲阂?，且容易影響工作人員的健康。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對上述問題，旨在提供造價低廉的氣囊正壓裝置以用構(gòu)建高潔凈度工作腔，來替代目前建造困難的工作室，同時還提供通過采用所述氣囊正壓裝置來構(gòu)建高潔凈度工作腔的方法。

本發(fā)明提供的氣囊正壓裝置是這樣實現(xiàn)的：

氣囊正壓裝置，其特征在于：包括機械設(shè)備；氣囊，用于包裹所述機械設(shè)備；氣壓設(shè)備，用于向所述氣囊內(nèi)部輸入壓強大于所述氣囊外部空氣壓強的高潔凈度氣體，且所述高潔凈度氣體的潔凈度高于或等于所述機械設(shè)備正常工作時所要求的工作環(huán)境中氣體的潔凈度。

具體地，所述氣囊上開設(shè)有進(jìn)氣口，所述氣壓設(shè)備設(shè)置于所述氣囊外側(cè)并通過通過管道與所述進(jìn)氣口連接。

具體地，所述氣囊上開設(shè)有出氣口。

具體地，所述進(jìn)氣口與所述出氣口相對的設(shè)置于所述所述氣囊上。

具體地，所述出氣口處設(shè)有控制出氣口開口大小的流量控制閥。

具體地，所述氣壓設(shè)備設(shè)置于所述所述氣囊內(nèi)部。

具體地，所述氣囊為柔性氣囊。

本發(fā)明同時提供的構(gòu)建高潔凈度工作腔的方法是這樣實現(xiàn)的：

構(gòu)建高潔凈度工作腔的方法，采用如上所述的氣囊正壓裝置，其包括以下步驟

利用所述氣壓設(shè)備向所述氣囊內(nèi)部輸入壓強大于所述氣囊外部空氣壓強的高潔凈度氣體，使得所述氣囊內(nèi)部原先殘留的廢氣排出，進(jìn)而使所述氣囊內(nèi)部形成高凈度的工作腔；

啟動所述機械設(shè)備，使所述機械設(shè)備進(jìn)入正常工作狀態(tài)，同時使所述氣壓設(shè)備持續(xù)向所述氣囊輸入壓強大于所述氣囊外部空氣壓強的高潔凈度氣體。

具體地，在所述步驟（2）中，減少所述高潔凈度氣體的輸入量，同時通過所述流量控制閥使所述出氣口開口變小。

本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明提供的氣囊正壓裝置及構(gòu)建高潔凈度工作腔的方法通過設(shè)置包裹機械設(shè)備的氣囊及氣壓設(shè)備，通過氣壓設(shè)備向所述氣囊輸入壓強大于所述氣囊外部空氣壓強的高潔凈度氣體，使得所述氣囊內(nèi)部相對外部形成正向的氣壓，這樣可保持所述氣囊內(nèi)部的氣體具有與所述氣壓設(shè)備提供的高潔凈度氣體相同潔凈度或潔凈度極為接近的氣體，從而構(gòu)建了高潔凈度工作腔。這樣，一方面大大的節(jié)約了建設(shè)工作室的成本；一方面工作人員在位置所述氣囊外工作，無需佩戴呼吸面具，工作環(huán)境得到改善。

附圖說明

圖1是本發(fā)明提供的氣囊正壓裝置一優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖1及實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。