[發明專利]一種柔性透明導電石墨烯薄膜及其制備方法和應用

在審

• 申請號: 201310196580.1
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN104183701A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 周明杰;馮小明;黃輝;王平
• 申請（專利權）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號: H01L51/44
• 分類號: H01L51/44;H01L51/46;H01L51/48;H01L51/52
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種柔性透明導電石墨烯薄膜，其特征在于，包括玻璃基板和分別設置在所述玻璃基板正反兩面的石墨烯層和聚對二甲苯層，其中，所述玻璃基板的厚度為50～200μm，所述石墨烯層的厚度為100～2000nm，所述聚對二甲苯層的厚度為2～10μm。

2.一種柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S10、取潔凈玻璃基板，置于氣相沉積室中，通入氣態碳源，維持沉積室內壓力為10～1000Pa，于600～1000℃下，在所述玻璃基板的一面沉積石墨烯層，得到具有石墨烯層的玻璃基板；

S20、將所述具有石墨烯層的玻璃基板置于真空度為1.0×10^-5～1.0×10^-3Pa的鍍室中，采用電子束蒸鍍的方法在所述石墨烯層上制備脫模劑層，得到具有石墨烯層和脫模劑層的玻璃基板，所述脫模劑層的材質為水溶性鹵鹽；

S30、取固態對二甲苯環二體，于170℃下升華為氣態后，再在680～700℃下裂解，得到具有自由基的對二甲苯氣態單體分子；

S40、將S20制得具有石墨烯層和脫模劑層的玻璃基板置于真空沉積室中，通入S30制備的所述氣態單體分子，所述氣態單體分子在所述脫膜劑層上和玻璃基板的另一個面上聚合并形成聚對二甲苯層；

S50、將經S40處理后的玻璃基板置于50～100℃的水中，溶解所述脫模劑層，使附著在脫膜劑層上的聚對二甲苯層脫離，制得柔性透明導電石墨烯薄膜。

3.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟S10中，所述氣態碳源為甲烷、乙烷和丙烷中的一種或多種。

4.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述石墨烯層的厚度為100～2000nm。

5.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟S20中，所述電子束蒸鍍的方法中，電子束的能量密度為10～l00W/cm²，蒸發速度為0.1～1nm/s。

6.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟S20中，所述水溶性鹵鹽為氯化鈉、氯化鉀或氯化鎂。

7.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述脫模劑層的厚度為50～2000nm。

8.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述聚對二甲苯層的厚度為2～10μm。

9.如權利要求1所述柔性透明導電石墨烯薄膜在制備太陽能電池器件或有機發光二極管器件中的應用。