[發(fā)明專利]柔性導(dǎo)電電極及其制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310196250.2
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN104183772A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周明杰;馮小明;張娟娟;王平
• 申請（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 生啟;何平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種柔性導(dǎo)電電極及其制備方法。

背景技術(shù)

有機電致發(fā)光器件（OLED）通常使用超薄玻璃，聚合物薄膜、金屬薄片等作為柔性襯底，比玻璃襯底的具有更輕薄、更耐沖擊的優(yōu)點，并且柔性器件的制備可以采用卷對卷方式生產(chǎn)，從而大幅地降低制造成本。

不銹鋼薄片作為柔性有機電致發(fā)光器件，具有耐熱性好，強度高的有點，但是不銹鋼薄片作為柔性導(dǎo)電電極時，表面的粗糙度較大。通常在不銹鋼薄片上制備一層有機物作為平整層，然而有機物的耐熱性較差，在后續(xù)的制備過程中容易因為高溫破壞柔性導(dǎo)電電極的平整性。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種耐高溫的柔性導(dǎo)電電極及其制備方法。

一種柔性導(dǎo)電電極，包括依次層疊的不銹鋼襯底、平整層及導(dǎo)電層，所述平整層的材料為二氧化硅，所述導(dǎo)電層的材料為鋁、銀、鎂、金、鉑或鎳。

在其中一個實施例中，所述不銹鋼襯底的厚度為0.05mm～0.2mm，所述導(dǎo)電層的厚度為50nm～500nm。

在其中一個實施例中，所述平整層的厚度為2μm～20μm。

一種柔性導(dǎo)電電極的制備方法，包括以下步驟：

將硅的前驅(qū)體溶液旋涂在不銹鋼襯底的表面；

將表面旋涂有硅的前驅(qū)體溶液的不銹鋼襯底先在25℃～80℃干燥，之后在含有氧氣的氣氛下以10℃/min～20℃/min的速度加熱至600℃～1000℃，保溫1小時～5小時，在不銹鋼襯底表面形成由二氧化硅組成的平整層；及

在真空鍍膜系統(tǒng)中，在所述平整層表面制備導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電層的材料為鋁、銀、鎂、金、鉑或鎳。

在其中一個實施例中，旋涂的轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分鐘～3000轉(zhuǎn)/分鐘，時間為20S～60S。

在其中一個實施例中，所述硅的前驅(qū)體溶液由以下步驟制備：將硅酸酯及催化劑滴加到溶劑中，并不斷攪拌，調(diào)節(jié)pH值為4～6，形成所述硅的前驅(qū)體溶液，所述溶劑包括烷基醇及水，所述烷基醇與所述水的體積比為0.8:1～1:1，所述催化劑為酸性溶液。

在其中一個實施例中，所述硅酸酯與溶劑的體積比為1：（6～20）。

在其中一個實施例中，所述硅酸酯的通式為Si(O-R)₄，其中，O為氧鍵，R為碳原子數(shù)為2～5的烷基。

在其中一個實施例中，所述催化劑為醋酸溶液、硝酸溶液或鹽酸溶液。

在其中一個實施例中，所述硅酸酯的滴加速度為2ml/min～5ml/min。

上述柔性導(dǎo)電電極，在不銹鋼襯底的表面形成二氧化硅薄膜作為平整層，得到的柔性導(dǎo)電電極的表面平整度較高，相對于有機物平整層，二氧化硅的耐熱性能良好，在后續(xù)制備過程中，不會因為高溫破壞柔性導(dǎo)電電極的表面平整性，不容易產(chǎn)生針孔、尖刺，耐高溫性能良好；上述柔性導(dǎo)電電極的制備方法，通過提拉和高溫?zé)Y(jié)在不銹鋼襯底表面制備二氧化硅薄膜作為平整層，工藝簡單，材料來源廣泛。

附圖說明

圖1為一實施方式的柔性導(dǎo)電電極的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為一實施方式的柔性導(dǎo)電電極的制備方法的流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對柔性導(dǎo)電電極及其制備方法進一步闡明。

請參閱圖1，一實施方式的柔性導(dǎo)電電極100包括依次層疊的不銹鋼襯底10、平整層30及導(dǎo)電層50。

不銹鋼襯底10的材料為常用的不銹鋼材料，如美標(biāo)AISI304，AISI303型不銹鋼，。不銹鋼襯底10的厚度為0.05mm～0.2mm。優(yōu)選的，不銹鋼襯底10的表面粗糙度（Ra）小于0.6μm。

平整層30形成于不銹鋼襯底10的表面。平整層30的材料為二氧化硅（SiO₂）。平整層30的厚度為2μm～20μm。需要說明的是，本實施方式中，平整層30形成于不銹鋼襯底10的一個表面，當(dāng)然在其他實施例中，平整層30也可形成于不銹鋼襯底10的兩個相對的表面，或包覆不銹鋼襯底10，對于柔性導(dǎo)電電極100的使用不會有影響。

導(dǎo)電層50形成于平整層30的表面。導(dǎo)電層50的材料為鋁（Al）、銀（Ag）、鎂（Mg）、金（Au）、鉑（Pt）或鎳（Ni）。導(dǎo)電層50的厚度為50nm～500nm。

上述柔性導(dǎo)電電極100，在不銹鋼襯底10的表面形成二氧化硅薄膜作為平整層30，得到的柔性導(dǎo)電電極10的表面平整度較高，相對于有機物平整層，二氧化硅的耐熱性能良好，在后續(xù)制備過程中，不會因為高溫破壞柔性導(dǎo)電電極100的表面平整性，不容易產(chǎn)生針孔、尖刺，耐高溫性能良好。