[發(fā)明專利]用于連接至半導(dǎo)體裝置的鋁合金線

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310195539.2
• 申請(qǐng)日: 2013-05-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103276255A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 天野裕之;三上道孝;中島伸一郎;市川司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 田中電子工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C22C21/00
• 分類號(hào): C22C21/00;C22F1/04;H01B1/02;H01B5/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 牛海軍

1.用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，所述合金由0.2-2.0質(zhì)量％的量的鐵(Fe)和純度為99.99質(zhì)量％以上的余量鋁(Al)制成，其特征在于，所述鐵(Fe)中的一些以0.01-0.05％的量溶解在所述鋁合金線的鋁(Al)基體中，并且剩余的所述鐵(Fe)被包含在鐵-鋁(Fe-Al)金屬間化合物粒子中，當(dāng)在拉伸之后的所述鋁合金線的橫截面上看時(shí)，所述鐵-鋁(Fe-Al)金屬間化合物粒子以晶體的形式分散在所述線的基體組織的微細(xì)再結(jié)晶組織中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述鐵(Fe)以0.02-0.05％的量溶解在所述鋁(Al)基體中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述余量鋁(Al)具有99.995質(zhì)量％以上的純度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述余量鋁(Al)具有99.998質(zhì)量％以上的純度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述鋁合金線的直徑為50-500微米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述微細(xì)再結(jié)晶組織的平均粒徑為3.6-5.3微米。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述微細(xì)再結(jié)晶組織在由固溶熱處理之后的預(yù)成形線進(jìn)行拉伸比為90％以上的冷連續(xù)線拉伸之后獲得。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述微細(xì)再結(jié)晶組織在進(jìn)行固溶熱處理之后的冷連續(xù)線拉伸之后獲得。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述微細(xì)再結(jié)晶組織在按以下順序進(jìn)行固溶熱處理、冷連續(xù)線拉伸和調(diào)質(zhì)熱處理之后獲得。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述微細(xì)再結(jié)晶組織在按以下順序進(jìn)行固溶熱處理、冷連續(xù)線拉伸和調(diào)質(zhì)熱處理之后獲得，所述調(diào)質(zhì)熱處理在300-500℃持續(xù)60分鐘而完成。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述鋁合金線具有25-40Hv的維氏硬度。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在半導(dǎo)體裝置中使用的超聲波接合用鋁合金線，其特征在于，所述鋁合金線的IACS電導(dǎo)率為62％以上。