[發明專利]一種柔性透明導電石墨烯薄膜及其制備方法和應用

無效

• 申請號: 201310195098.6
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN104183699A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 周明杰;馮小明;黃輝;王平
• 申請（專利權）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號: H01L51/44
• 分類號: H01L51/44;H01L51/46;H01L51/48
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種柔性透明導電石墨烯薄膜，其特征在于，包括石墨烯層和設置在石墨烯層上的聚酰亞胺層，其中，所述石墨烯層的厚度為100～2000nm，所述聚酰亞胺層的厚度為500～1000nm。

2.一種柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S10、取潔凈玻璃基板，采用電子束蒸發的方法在所述潔凈玻璃基板上制備脫模劑層，所述脫模劑層的材質為水溶性鹵鹽；

S20、將經S10處理后的玻璃基板置于氣相沉積室中，通入氣態碳源，維持沉積室內的壓力為10～1000Pa，于600～1000℃下，在所述脫模劑層上沉積石墨烯層，得到具有石墨烯層和脫膜劑層的玻璃基板；

S30、將S20所得玻璃基板置于真空鍍膜室中，設置室內真空度為1.0×10^-5Pa～1.0×10^-3Pa，取均苯四甲酸二酐和4,4’-二氨基二苯醚以1:0.8～1.2的蒸發速度比進行共蒸鍍，使所述石墨烯層上形成聚酰胺酸層；

S40、將經S30處理后的玻璃基板置于180～300℃的真空加熱裝置中，脫水處理1～5小時，使所述聚酰胺酸層脫水形成聚酰亞胺層；

S50、將經S40處理后的玻璃基板置于50～100℃的水中，溶解所述脫模劑層，使所述石墨烯層從玻璃基板脫離，制得柔性透明導電石墨烯薄膜，所述柔性透明導電石墨烯薄膜包括石墨烯層和設置在石墨烯層上的聚酰亞胺層。

3.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述電子束蒸發的能量密度為10～100W/cm²，蒸發速度為0.1～1nm/s。

4.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述脫膜劑層的厚度為50～2000nm。

5.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟S10中，所述水溶性鹵鹽為氯化鈉、氯化鉀或氯化鎂。

6.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟S20中，所述氣態碳源為甲烷、乙烷和丙烷中的一種或多種。

7.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述石墨烯層的厚度為100～2000nm。

8.如權利要求2所述的柔性透明導電石墨烯薄膜的制備方法，其特征在于，所述聚酰亞胺層的厚度為500～1000nm。

9.如權利要求1所述的柔性透明導電石墨烯薄膜在太陽能電池器件或有機發光二極管器件中的應用。