[發(fā)明專利]顯示器基板質(zhì)量檢測裝置及檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310193478.6 | 申請日： | 2013-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN103257469A | 公開（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李良;任伯陽 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡曉紅 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 顯示器 質(zhì)量 檢測 裝置 方法 | ||
1.一種顯示器基板質(zhì)量檢測裝置，用于檢測顯示器的基板質(zhì)量，所述基板包括基板正面與位于所述基板正面相對的基板背面，所述基板正面設(shè)置有半導(dǎo)體陣列的制程區(qū)，圍繞所述制程區(qū)設(shè)置有非制程區(qū)，其特征在于，所述顯示器基板質(zhì)量檢測裝置包括設(shè)置在基板背面的超聲波發(fā)射器和超聲波接收器，所述超聲波發(fā)射器向所述基板背面發(fā)射用于檢測基板質(zhì)量的超聲波；所述超聲波接收器接收從所述基板反射的超聲波；顯示器基板質(zhì)量檢測裝置還包括與所述超聲波接收器連接的超聲波分析器，用于對接收的超聲波進(jìn)行分析以判斷出所述基板是否出現(xiàn)破裂。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器基板質(zhì)量檢測裝置，其特征在于，所述顯示器基板質(zhì)量檢測裝置還包括發(fā)射器定位裝置，所述超聲波發(fā)射器安裝在所述發(fā)射器定位裝置上，所述發(fā)射器定位裝置帶動所述超聲波發(fā)射器旋轉(zhuǎn)或平移。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示器基板質(zhì)量檢測裝置，其特征在于，所述顯示器基板質(zhì)量檢測裝置還包括接收器定位裝置，所述超聲波接收器安裝在所述接收器定位裝置上，所述接收器定位裝置帶動所述超聲波接收器旋轉(zhuǎn)或平移，且所述超聲波發(fā)射器以預(yù)定的發(fā)射角度向基板背面發(fā)射超聲波。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器基板質(zhì)量檢測裝置，其特征在于，還包括用于帶動所述基板水平運動的生產(chǎn)線，多個所述超聲波接收器沿與生產(chǎn)線帶動基板運動的方向相互垂直的方向排成一列，且所述多個超聲波接收器所排成的一列的長度與基板的寬度相匹配。
5.一種顯示器基板質(zhì)量檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
在基板正面設(shè)置半導(dǎo)體陣列的制程區(qū)和圍繞所述制程區(qū)的非制程區(qū)，在基板背面設(shè)置超聲波發(fā)射器和超聲波接收器，超聲波發(fā)射器向基板背面發(fā)射用于檢測基板質(zhì)量的超聲波；
超聲波接收器接收從基板反射的超聲波；
與超聲波接收器連接的超聲波分析器對接收的超聲波進(jìn)行分析以判斷出基板是否出現(xiàn)破裂。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示器基板質(zhì)量檢測方法，其特征在于，還包括以下步驟：
將所述超聲波發(fā)射器安裝在發(fā)射器定位裝置上，由所述發(fā)射器定位裝置帶動所述超聲波發(fā)射器旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的發(fā)射角度或平移到預(yù)定的發(fā)射位置，然后由超聲波發(fā)射器以預(yù)定的發(fā)射角度向基板背面發(fā)射超聲波。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示器基板質(zhì)量檢測方法，其特征在于，還包括以下步驟：
將所述超聲波接收器安裝在接收器定位裝置上，由所述接收器定位裝置帶動所述超聲波接收器旋轉(zhuǎn)或平移。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示器基板質(zhì)量檢測方法，其特征在于，還包括以下步驟：
由生產(chǎn)線帶動所述基板水平運動；
將多個所述超聲波接收器沿與生產(chǎn)線帶動基板運動的方向相互垂直的方向排成一列以接收超聲波，且所述多個超聲波接收器所排成的一列的長度與基板的寬度相匹配。
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G02F 用于控制光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào)，上述器件或裝置的光學(xué)操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學(xué)性質(zhì)來修改的；用于上述操作的技術(shù)或工藝；變頻；非線性光學(xué)；光學(xué)
G02F1-00 控制來自獨立光源的光的強度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學(xué)
G02F1-01 .對強度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
