[發明專利]梳狀結構的放電電離源無效
| 申請號： | 201310191693.2 | 申請日： | 2013-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN103311088A | 公開（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發明（設計）人： | 李靈鋒;汪小知;李鵬 | 申請（專利權）人： | 蘇州微木智能系統有限公司 |
| 主分類號： | H01J49/10 | 分類號： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人： | 張建綱 |
| 地址： | 215163 江蘇省蘇州市高*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 結構 放電 電離 | ||
1.一種梳狀結構的放電電離源，包括電源、正放電電極和負放電電極，所述電源的正負極分別與相對設置的所述正放電電極和負放電電極連接；
其特征在于：所述正放電電極和負放電電極之間交替相對設置有正極導流板和負極導流板，所述正極導流板僅一端與所述正放電電極連接；所述負極導流板僅一端與所述負放電電極連接；所述正極導流板和所述負極導流板之間形成連貫的通道。
2.根據權利要求1所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：所述正放電電極和負放電電極均選用硅片。
3.根據權利要求2所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：所述正放電電極和負放電電極選用的硅片厚度為0.1-5mm。
4.根據權利要求1-3任一項所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：交替設置的所述正極導流板與所述負極導流板之間距離為20-500μm。
5.根據權利要求1-4任一項所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：交替設置的所述正極導流板與所述負極導流板之間距離為50-200μm。
6.根據權利要求1-5任一項所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：交替設置的所述正極導流板與所述負極導流板之間距離為100μm。
7.根據權利要求1-6任一項所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：所加電壓可以采用直流電壓，也可以采用交流電壓。
8.根據權利要求1-7任一項所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：所述正極導流板和負極導流板的個數分別設置5-100個。
9.根據權利要求1-8任一項所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：所述梳狀結構的放電電離源是用一整片硅片通過MEMS工藝加工而成。
10.根據權利要求1-9任一項所述的梳狀結構的放電電離源，其特征在于：所述正放電電極和負放電電極之間形成細長放電通道。
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