[發明專利]一種用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器

有效

• 申請號: 201310186426.6
• 申請日: 2013-05-20
• 公開（公告）號: CN103316545A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 劉欣;魏唯;陳特超;鞏小亮;王慧勇;羅才旺
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D46/42
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;李發軍

1.?一種用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器,包括罐體以及設于罐體側壁上的進氣口與罐體頂部的出氣口；其特征在于,?所述罐體包括底蓋（3）、串聯的多級罐體、以及上蓋（15）；所述多級罐體中的前級罐體（4）上端法蘭上安裝有前級法蘭（11），該前級法蘭（11）將前級罐體（4）與余下各級罐體（12）隔開形成前級過濾區與后級過濾區，所述多級罐體中的每一級罐體內均設有濾芯；所述前級法蘭（11）的法蘭板上開有連通前級過濾區與后級過濾區的通道，該前級法蘭（11）的法蘭板底端面設有筒形罩；所述前級罐體（4）內的濾芯為金屬濾芯（10），該金屬濾芯（10）位于前級法蘭（11）筒形罩的上部，該筒形罩的下部設有液冷系統；所述前級法蘭（11）筒形罩底端位于進氣口之下；所述進氣口、前級法蘭（11）筒形罩外壁與罐體內壁之間的通道、前級法蘭（11）筒形罩內腔、余下各級罐體（12）內腔、出氣口連通形成氣體通道。

2.?根據權利要求1所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述多級罐體包括前級罐體（4）和后級罐體（12）兩級；所述后級罐體（12）內設有PE濾芯（13），該后級罐體（12）的頂部設有后級法蘭；所述進氣口、前級法蘭（11）筒形罩外壁與罐體內壁之間的通道、前級法蘭（11）筒形罩內腔、后級罐體（12）內腔、出氣口形成氣體通道。

3.?根據權利要求2所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述后級法蘭（14）由法蘭盤與筒形罩連接而成，所述PE濾芯（13）設置在后級法蘭筒形罩內；所述前級法蘭（11）筒形罩的最下端與液體系統最下端等高；所述前級法蘭（11）筒形罩將前級罐體（4）內分隔成兩個區域，筒形罩內為降溫氣體過濾區，筒形罩外為高溫氣體區。

4.?根據權利要求1或2所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述液冷系統為水冷板系統（5），其包括多塊具有內腔的水冷板（51,52,53），各水冷板（51,52,53）之間通過水管（54）連通，所述水冷板（51,52,53）上連通有進水管（55）和回水管（56）。

5.?根據權利要求1或2所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述前級法蘭（11）的法蘭盤上裝有一根螺桿，且法蘭盤上開有多個圓周分布的圓形通孔，各通孔大小與不銹鋼濾芯（10）的中間通孔一致，經不銹鋼濾芯（10）過濾后的氣體將從所述法蘭盤的通孔排出。

6.?根據權利要求1或2所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述前級法蘭（11）的法蘭盤下表面對應安裝有8個均勻分布的不銹鋼濾芯（10），各不銹鋼濾芯（10）均位于前級法蘭筒形罩內；所述不銹鋼濾芯（10）的下端用壓環（7）封住，該壓環（7）為內外圈帶折邊的環形件，壓環（7）外圈的直徑小于所述前級法蘭（11）筒形罩的內徑。

7.?根據權利要求5所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述螺桿底端裝有壓蓋（6），該壓蓋（6）將所述不銹鋼濾芯（10）固定在所述前級法蘭（11）的法蘭盤上。

8.?根據權利要求1或2所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述底蓋（3）設上有通向罐體外的排氣管，該排氣管上設有一個排氣球閥（16）。

9.?根據權利要求1或2所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述進氣口位于罐體側壁高度方向1/3-1/2處，且位于前級法蘭（11）的法蘭板之下。

10.?根據權利要求1或2所述的用于MOCVD設備的多級顆粒過濾器，其特征在于，所述濾芯為不銹鋼濾芯，每一級罐體內設有8個濾芯。