[發(fā)明專利]等離子處理裝置及其氣體輸送裝置、氣體切換方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310185772.2 | 申請日： | 2013-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN104167345A | 公開（公告）日： | 2014-11-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王洪青;周旭升 | 申請（專利權(quán)）人： | 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201201 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 等離子 處理 裝置 及其 氣體 輸送 切換 方法 | ||
1.一種用于等離子處理裝置的氣體輸送裝置，所述等離子處理裝置包括一腔室，基片放置于腔室之中進行制程，其中，所述氣體輸送裝置包括：
第一氣體源，其容納并提供第一制程氣體；
第一流量控制器，其連接于所述第一氣體源的下游，輸出具有可控流量的第一制程氣體；
第一閥門和第二閥門，其連接于所述第一流量控制器的下游，將從所述流量控制器輸出的第一制程氣體分成兩路；
第一子流量控制器和第二子流量控制器，其分別連接于所述第一閥門和第二閥門的下游，并分別將第一制程氣體進一步分成兩路；
串聯(lián)的第一預(yù)存空間和第二預(yù)存空間，其連接于所述第一子流量控制器下游，其連接于腔室并將第一制程氣體輸送入腔室；
串聯(lián)的第三預(yù)存空間和第四預(yù)存空間，其連接于所述第一子流量控制器下游，其連接于腔室并將第一制程氣體輸送入腔室，
其中，所述第一預(yù)存空間、所述第二預(yù)存空間、所述第三預(yù)存空間和所述第四預(yù)存空間和腔室之間還分別連接有第一子閥門、第二子閥門、第三子閥門和第四子閥門。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述氣體輸送裝置用于博世工藝。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述氣體輸送裝置還包括：
第二氣體源，其容納并提供第二制程氣體；
第二流量控制器，其連接于所述第二氣體源的下游，輸出具有可控流量的第二制程氣體；
第三閥門和第四閥門，其連接于所述流量控制器的下游，將從所述流量控制器輸出的第二制程氣體分成兩路；
第三子流量控制器和第四子流量控制器，其分別連接于所述第三閥門和第四閥門的下游，并分別將第二制程氣體進一步分成兩路；
串聯(lián)的第五預(yù)存空間和第六預(yù)存空間，其連接于所述第三子流量控制器下游，其連接于腔室并將第二制程氣體輸送入腔室；
串聯(lián)的第七預(yù)存空間和第八預(yù)存空間，其連接于所述第四子流量控制器下游，其連接于腔室并將第二制程氣體輸送入腔室，
其中，所述第五預(yù)存空間、所述第六預(yù)存空間、所述第七預(yù)存空間和所述第八預(yù)存空間和腔室之間還分別連接有第五子閥門、第六子閥門、第七子閥門和第八子閥門。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述第一流量控制裝置、所述第二流量控制裝置、所述第三流量控制裝置和所述第四流量控制裝置為MFC。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述第一子流量控制器、第二子流量控制器、第三子流量控制器和所述第四子流量控制器為orifice。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述第一制程氣體為刻蝕氣體，所述第二制程氣體為側(cè)壁保護氣體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述刻蝕氣體包括Ar、O2、SF6；，所述側(cè)壁保護氣體包括Ar和C4F8。
8.一種等離子處理裝置，其特征在于，所述等離子處理裝置包括權(quán)利要求1至7任一項所述的氣體輸送裝置。
9.一種用于等離子處理裝置的氣體切換方法，其中，所述等離子體處理裝置包括權(quán)利要求1至7任一項所述的氣體輸送裝置，其中，所述方法包括如下步驟：
步驟a，打開第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門，使得第一預(yù)存空間、所述第二預(yù)存空間、所述第三預(yù)存空間、所述第四預(yù)存空間、第五預(yù)存空間、第六預(yù)存空間、第七預(yù)存空間和第八預(yù)存空間都分別充滿第一制程氣體或第二制程氣體；
步驟b，依次打開第一子閥門、第五子閥門、第二子閥門、第六子閥門、第三子閥門、第七子閥門、第四子閥門和第八子閥門，其中，同一時間只能開啟其中一個子閥門，以使得第一制程氣體和第二制程氣體分別可切換地輸送入腔室內(nèi)部。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體切換方法，其特征在于，所述第一子閥門、第五子閥門、第二子閥門、第六子閥門、第三子閥門、第七子閥門、第四子閥門和第八子閥門的切換時間的取值范圍為小于1秒。
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