[發明專利]一種翹板式智能檢測微波功率傳感器

有效

• 申請號: 201310185123.2
• 申請日: 2013-05-20
• 公開（公告）號: CN103257268A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 韓磊;朱雁青
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R21/06
• 分類號: G01R21/06
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種翹板式智能檢測微波功率傳感器，其特征在于，該傳感器包括GaAs或Si材質的襯底（1）、在所述襯底（1）上依次排列設置的共面波導第一地線（21）、共面波導信號線（22）、共面波導第二地線（23）、傳感電極（4）、驅動電極（5）和SOC電路（6），以及設置在所述共面波導第二地線（23）上并與共面波導（2）垂直的翹板式雙端懸臂梁（3），所述翹板式雙端懸臂梁（3）的中部下側與共面波導第二地線（23）連接，一端懸空設置于共面波導信號線（22）的上方，另一端懸空設置于傳感電極（4）和驅動電極（5）的上方，所述SOC電路通過導線分別與共面波導第二地線（23）、傳感電極（4）和驅動電極（5）連接。

2.根據權利要求1所述的翹板式智能檢測微波功率傳感器，其特征在于，所述翹板式雙端懸臂梁（3）的一端與其下方的傳感電極（4）構成感應電容結構。

3.根據權利要求1所述的翹板式智能檢測微波功率傳感器，其特征在于，所述翹板式雙端懸臂梁（3）通過SOC電路（6）測量感應電容值，并通過施加平衡電壓保持翹板式雙端懸臂梁（3）的平衡。