[發(fā)明專利]一種壓電石英晶體晶片倒邊實現(xiàn)效果的測量方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310182751.5 | 申請日： | 2013-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN103293227A | 公開（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 梁生元;白利才;李歡;李冬強 | 申請（專利權(quán)）人： | 廊坊中電熊貓晶體科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N29/12 | 分類號： | G01N29/12 |
| 代理公司： | 南京君陶專利商標代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 065001 河北省廊坊市*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 壓電 石英 晶體 晶片 實現(xiàn) 效果 測量方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種壓電石英晶體晶片倒邊實現(xiàn)效果的測量方法，其特征是包括
1）壓電石英晶體晶片使用倒邊工藝加工，具體是將晶片和研磨砂按重量比例為1:1置入曲率為R20-R65的圓柱狀或橢球狀剛性筒中，再將該筒置于滾筒倒邊機，使其以175rpm高速旋轉(zhuǎn)，從而達到晶片邊緣部位被研磨砂和筒壁修整變薄效果，即在晶片長度方向端面厚度為晶片中心厚度的50%-90%；
2）用測量儀器測量其基頻頻率f1和三次泛音頻率f3，并計算其相關(guān)值Delta?f?=?3*f1-f3；
3）當晶片制造成的壓電石英晶體元器件被證明完全符合性能品質(zhì)要求后，今后再制造該規(guī)格晶片時，在晶片倒邊加工工序，即以Delta?f值是否符合來判斷壓電石英晶體晶片倒邊實現(xiàn)設計的效果。
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