[發明專利]材料分壓放氣率測量系統及其測量方法

無效

• 申請號: 201310182195.1
• 申請日: 2013-05-16
• 公開（公告）號: CN103267705A
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發明（設計）人: 王魁波;吳曉斌;王宇;陳進新;羅艷;謝婉露;張羅莎
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G01N7/14
• 分類號: G01N7/14
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種材料分壓放氣率測量系統，包括抽氣泵組(1)、超高真空室(2)和樣品室(9)，所述抽氣泵組(1)與超高真空室(2)直接連接，用于對所述超高真空室(2)抽真空，所述樣品室(9)用于放置樣品(10)；其特征在于：所述材料分壓放氣率測量系統還包括：

測試室(6)，其通過小孔(5)與所述超高真空室(2)連接；

第一質譜計(3)和第二質譜計(4)，其分別與所述超高真空室(2)和測試室(6)相連接。

第一角閥(7)和第二角閥(8)，所述超高真空室(2)和所述測試室(6)分別通過所述第一角閥(7)和第二角閥(8)與所述樣品室(9)相連接。

2.一種材料分壓放氣率測量系統，其特征在于：所述小孔的孔徑為5.7mm～14.0mm。

3.一種材料分壓放氣率測量方法，應用于權利要求1所述的材料分壓放氣率測量系統，其特征在于包括如下步驟：

步驟S1、測量所需測量分壓放氣率的材料的樣品的表面面積；

步驟S2、將所述樣品放入樣品室(9)內，打開第一角閥(7)和第二角閥(8)，啟動所述抽氣泵組(1)對超高真空室(2)進行抽氣，同時對所述樣品室(9)、測試室(6)和超高真空室(2)進行高溫烘烤除氣；

步驟S3、保持第二角閥(8)開啟，關閉第一角閥(7)，將樣品在樣品室(9)中放出的氣體引入到測試室(6)中，并等待一段時間以至樣品室(9)、測試室(6)和超高真空室(2)的壓力保持不變，然后利用第二質譜計(4)和第一質譜計(3)分別測得測試室(6)和超高真空室(2)內某一氣體組分的分壓；

步驟S4、打開第一角閥(7)，關閉第二角閥(8)，將樣品在樣品室(9)中放出的氣體引入到超高真空室(2)中，并等待一段時間以至樣品室(9)、測試室(6)和超高真空室(2)的壓力保持不變，然后利用第二質譜計(4)和第一質譜計(3)分別測量測試室(6)和超高真空室(2)內所述氣體組分的分壓；

步驟S5、從樣品室(9)中取出所述樣品，然后重復步驟S3和S4，得到取出樣品后兩種狀態下的測試室(6)和超高真空室(2)內所述氣體組分的分壓，該兩種狀態為“第二角閥開啟、第一角閥關閉”和“第一角閥開啟、第二角閥關閉”；

步驟S6、根據步驟S3～步驟S5測得的各個狀態下測試室和超高真空室內所述氣體組分的分壓計算樣品對該氣體組分的分壓放氣率。

4.如權利要求3所述的材料分壓放氣率測量方法，其特征在于：在測量所述樣品之間，對樣品進行預處理。

5.如權利要求3所述的材料分壓放氣率測量方法，其特征在于：在步驟S6中，通過下述公式來計算所述氣體組分的分壓放氣率：qi=Qi,4A=Ci×(Pi,6-Pi,6′)-Qi,3A=Ci×(Pi,6+pi,6′-Pi,6′-pi,6)A,]]>其中，q_i為樣品對氣體組分i的分壓放氣率，A為樣品的表面積，C_i為小孔(5)對組分i的流導，P_i，6為樣品放入樣品室(9)中且打開第二角閥(8)、關閉第一角閥(7)時的測試室(6)內氣體組分i的分壓，為樣品放入樣品室(9)中且打開第一角閥(7)、關閉第二角閥(8)時測試室(6)內的氣體組分i的分壓，Q_i，3為樣品室(9)對氣體組分i的放氣量，p_i，6為樣品未放入樣品室(9)中且打開第二角閥(8)、關閉第一角閥(7)時的測試室(6)內氣體組分i的分壓，為樣品未放入樣品室(9)中且打開第一角閥(7)、關閉第二角閥(8)時測試室(6)內的氣體組分i的分壓。