[發明專利]一種SiCOH薄膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201310181432.2
• 申請日: 2013-05-16
• 公開（公告）號: CN103258734A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 丁士進;丁子君;譚再上;張衛
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: H01L21/314
• 分類號: H01L21/314;H01L21/3105;H01L21/768
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;盛志范

1.?一種SiCOH薄膜的制備方法，其特征在于具體步驟如下：

（1）將前驅體、成孔劑、催化劑、H₂O，以及溶劑混合，在40-80℃下攪拌0.5-10小時，得到透明成膜液；其中，前驅體為三甲氧基[2-(7-氧雜二環[4.1.0]庚-3-基)乙基]硅烷，成孔劑為P123，催化劑為HCl，溶劑為乙醇；

（2）在16~40℃下，將上述成膜液旋涂成厚度為200-500nm的薄膜，旋涂速率為2500-4000rpm轉/分鐘，旋轉時間為25-50秒；薄膜靜置10-60分鐘，然后移入40-80℃烘箱陳化10-80小時；

（3）將陳化后的薄膜在250-500℃的氮氣或N₂/H₂混合氣氣氛中退火1-10小時。

2.?根據權利要求1所述制備方法，其特征在于所述步驟（1）中成膜液各組分摩爾比為：

前驅體:P123:HCl:H₂O:?乙醇?=?6-7:0.01-0.02:0.1-0.2:150-250:100-200。

3.?根據權利要求2所述制備方法，其特征在于所述成膜液中溶劑為乙醇，成膜液濃度為40-60wt%。

4.?如權利要求1所述制備方法制備得到的SiCOH薄膜，其熱穩定性達420℃，介電常數為3.8-4.1。