[發明專利]用于衰減顯微鏡光束路徑中聲波的裝置和具有其的顯微鏡

有效

• 申請號: 201310181178.6
• 申請日: 2013-05-16
• 公開（公告）號: CN103426426B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發明（設計）人: 霍爾格·比爾克;沃爾克·謝弗雷德;德克-奧立夫·費雷爾;維什努·瓦爾丹·克里斯納馬查里
• 申請（專利權）人: 萊卡微系統CMS有限責任公司
• 主分類號: G10K11/175
• 分類號: G10K11/175;G02B21/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 宋融冰

1.一種用于衰減顯微鏡的光束路徑(1)中的聲波的裝置，具有用于封裝聲波發射元件的隔聲外殼(2)，所述外殼(2)包括至少一個光入開口/出開口，

其中，所述外殼(2)配備和/或構造為使從所述外殼(2)出來的聲波通過相消干涉被大大消除而不影響光束(4)，

其中，所述開口由從所述外殼(2)延伸出的管(6)構成，

其中，所述管(6)裝備有從所述管(6)在橫向上突出的至少一個管分支(7)，

其中，所述管分支(7)在末端封閉，或者所述管分支(7)被配備作為從所述管(6)開始且開口回至所述管(6)中的旁路(11)，所述旁路(11)具有適配的聲波波長。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述聲波發射元件為快速移動或振蕩光束偏轉儀器。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述聲波發射單元為共振振蕩鏡(3)。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述外殼(2)的開口配備和/或構造為使從所述外殼(2)出來的聲波通過相消干涉被大大消除而不影響光束(4)。

5.根據權利要求1所述的裝置，其中，設置光入開口和光出開口設置為獨立的開口；以及光入開口和光出開口根據相同的原理相對于聲發射衰減。

6.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述管(6)裝備有從所述管(6)在橫向上突出的兩個或更多個管分支(7)。

7.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述管分支(7)在末端通過聲反射壁(8)封閉。

8.根據權利要求6所述的裝置，其中，所述管分支(7)被不同地配備，以同時衰減不同的聲波頻率。

9.根據權利要求8所述的裝置，其中，所述管分支(7)具有不同的深度。

10.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述管分支(7)被構成為使得在所述管分支(7)中傳播的以及在那里被反射的聲波相對于在所述管(6)中沿縱向傳播的波發生180°的相變，從而導致與沿縱向傳播的波的相消干涉。

11.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述管分支(7)的調諧通過適配所述管分支(7)的寬度/直徑和/或長度實現。

12.根據權利要求11所述的裝置，其中，設置改變所述管分支(7)的深度的聲反射壁(8)以改變所述管分支(7)的長度。

13.根據權利要求12所述的裝置，其中，所述聲反射壁(8)由可螺旋進入所述管分支(7)的所述末端的調節螺釘(10)，或者通過可插入式的調節銷、調節桿或調節活塞承載或構成。

14.根據權利要求13所述的裝置，其中，所述管分支(7)中的干涉條件的調節以及因此的調諧通過機動化方式或液壓地或氣動地實現。

15.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述管分支(7)的調諧通過選擇具有限定的吸聲性能的合適的材料實現。

16.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述旁路(11)具有比所述管(6)長半個聲波波長的聲波路徑長度。

17.根據權利要求1所述的裝置，其中，在所述外殼(2)內部和/或所述管(6)內部設置吸聲器(12)。

18.根據權利要求17所述的裝置，其中，所述吸聲器(12)配備作為各個內壁表面的至少部分的襯墊。

19.一種顯微鏡，具有根據權利要求1-18中任一項所述的裝置。

20.根據權利要求19所述的顯微鏡，其中，所述顯微鏡為掃描顯微鏡。