[發明專利]一種真空高精度窗口的實現方法及其裝置

有效

• 申請號: 201310180114.4
• 申請日: 2013-05-16
• 公開（公告）號: CN103278904A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 楊飛;陳寶剛;王富國;張麗敏;明名
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種真空高精度窗口的實現方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：采用n塊窗口玻璃構成光學窗口，所述n塊窗口玻璃水平依次設置，使每相鄰的兩塊玻璃之間形成封閉腔；

步驟二：對步驟一中形成的多個封閉腔進行抽真空處理；

步驟三：在經步驟二抽真空處理的多個封閉腔內充入惰性氣體，使多個封閉腔內的壓力順次遞增。

2.根據權利要求1所述的一種真空高精度窗口的實現方法，其特征在于，步驟三中所述的使多個封閉腔內的壓力順次遞增具體滿足以下要求：與真空相接觸的第一塊窗口玻璃一面是真空，一面是1/n個大氣壓；第二塊窗口玻璃一面是1/n個大氣壓，一面是2/n個大氣壓……第n塊窗口玻璃一面是（n-1）/n個大氣壓，一面是大氣環境，即一個大氣壓強。

3.根據權利要求1或2所述的一種真空高精度窗口的實現方法，其特征在于，所述n的取值范圍為n≧2。

4.根據權利要求1所述的一種真空高精度窗口的實現方法的裝置，其特征在于，包括窗口玻璃A（1）窗口玻璃B（2）、密封圈A（3）、密封圈B（4）、密封圈C（5）、鏡座B（6）、金屬波紋管B（7）、柔性調整旋鈕B（8）、鏡座A（9）、金屬波紋管A（10）、柔性調節旋鈕A、安裝座（12），安裝接口（13）；

所述安裝座（12）通過螺釘固定到安裝接口（13）上，窗口玻璃A（1）通過壓圈及密封圈A（3）、密封圈B（4）和密封圈C（5）安裝到鏡座A（9）上，其中連接用螺釘與壓圈之間采用彈簧預緊，金屬波紋管A（10）與鏡座A（9）及安裝座（12）之間采用密封圈進行密封安裝，所述m個柔性調整旋鈕A（11）圓周均布在所述鏡座A（9）和所述安裝座（12）之間，所述柔性調整旋鈕A（11）可以改變所述鏡座A（9）和所述安裝座（12）之間的兩維傾斜角度與距離；

所述窗口玻璃B（2）通過壓圈及密封圈安裝到鏡座B（6）上，其中連接用螺釘與壓圈之間采用彈簧預緊，金屬波紋管B（7）與鏡座B（6）及鏡座A（9）之間采用密封圈進行密封安裝，所述p個柔性調整旋鈕B（8）圓周均布在所述鏡座A（9）和所述安裝座（12）B之間，所述柔性調整旋鈕B（8）可以改變所述鏡座A（9）和所述安裝座（12）B之間的兩維傾斜角度與距離；

采用n塊窗口玻璃A（1）或窗口玻璃B（2）連續安裝。

5.根據權利要求4所述的一種真空高精度窗口的實現方法的裝置，其特征在于，所述n塊窗口玻璃A（1）或窗口玻璃B（2）之間構成多個封閉腔，所述封閉腔內抽真空處理后填充化學性質穩定的干氮氣。

6.根據權利要求4所述的一種真空高精度窗口的實現方法的裝置，其特征在于，所述n的取值范圍為n≧2。

7.根據權利要求4所述的一種真空高精度窗口的實現方法的裝置，其特征在于，所述每個封閉腔內抽真空處理后填充化學性質穩定的干氮氣的量具體滿足一以下條件：與真空相接觸的窗口玻璃A（1）一面是真空，一面是1/n個大氣壓；窗口玻璃B（2）一面是1/n個大氣壓，一面是2/n個大氣壓……第n塊窗口玻璃一面是（n-1）/n個大氣壓，一面是大氣環境，即一個大氣壓強。

8.根據權利要求4所述的一種真空高精度窗口的實現方法的裝置，其特征在于，所述窗口玻璃A（1）和所述窗口玻璃B（2）均可以在垂直于光軸的平面內進行兩維傾斜角度的微調。

9.根據權利要求4所述的一種真空高精度窗口的實現方法的裝置，其特征在于，所述m的取值范圍為：m≧3，所述p的取值范圍為：p≧3。