[發明專利]掃描隧道納米級精度測量儀

有效

• 申請號: 201310178588.5
• 申請日: 2013-05-04
• 公開（公告）號: CN103245801A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 鄒華兵;丘永亮
• 申請（專利權）人: 鄒華兵
• 主分類號: G01Q60/10
• 分類號: G01Q60/10;G01B5/08;G01B5/18;G01B5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掃描隧道納米級精度測量儀，主要由精密尺(1)、深度尺(2)、內外徑尺(3)、卡尺(4)、外徑指針(5)、內經指針(6)、深度指針(7)、外徑卡(8)、內徑卡(9)、絕緣體(10)、探針(11)、有序原子板(12)、電源(13)、開關(14)和計算機(15)組成，其特征是需要使用掃描隧道顯微鏡掃描原子的工作原理和計算機來記錄有序原子板(12)上被掃描的原子數。

2.根據權利要求1所述的掃描隧道納米級精度測量儀，其特征是：本發明的每次使用分宏觀測量和微觀測量兩步，宏觀測量的最小刻度是毫米或比毫米適當大的能用眼睛清晰識別的單位，微觀測量的最小刻度為被掃描原子的單個原子直徑，將兩步的測量值相加就為此次的測量結果。

3.根據權利要求1或2所述的掃描隧道納米級精度測量儀，其特征是：宏觀測量由標有刻度的深度尺(2)、內外徑尺(3)完成，其精度只能達到毫米；微觀測量時需平移精密尺(1)，此時探針(11)將掃描有序原子板(12)上整齊均勻排列的原子，同時計算機(15)將記錄被掃描原子的數目，并將該數與相應原子的直徑相乘計算出精密尺(1)所平移的尺寸，其精度可達納米。

4.根據權利要求1或2或3所述的掃描隧道納米級精度測量儀，其特征是：所述的精密尺(1)上有用于微觀測量的外徑指針(5)、內經指針(6)、深度指針(7)和探針(11)；而精密尺(1)與探針(11)之間有絕緣體(10)，它的設計是為了讓精密尺(1)不帶電。

5.根據權利要求1或2或3或4所述的掃描隧道納米級精度測量儀，其特征是：所述的有序原子板(12)表面光滑平整，上面的原子排列整齊均勻，且該材料能導電。