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[發明專利]一種用于具有曲面結構的金屬制品表面蝕刻加工方法有效

專利信息
申請號: 201310178586.6 申請日: 2013-05-14
公開(公告)號: CN103266323A 公開(公告)日: 2013-08-28
發明(設計)人: 郭鐘寧;黃紅光;宋卿;王冠;張永俊;李玉祥 申請(專利權)人: 廣東工業大學
主分類號: C23F1/02 分類號: C23F1/02
代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202 代理人: 顏希文;宋靜娜
地址: 510006 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 具有 曲面 結構 金屬制品 表面 蝕刻 加工 方法
【權利要求書】:

1.一種用于具有曲面結構的金屬制品表面蝕刻加工方法,其特征在于,包含以下步驟:

(1)掩膜:在金屬制品的平面和曲面上分別涂覆多個正方形耐腐蝕膠,所述金屬制品平面上以及金屬制品平面與曲面結合處相鄰兩個耐腐蝕膠之間的間隙寬度均為耐腐蝕膠邊長的1/4~1/3,所述金屬制品曲面上相鄰兩個耐腐腐蝕膠之間的間隙寬度從金屬制品平面與曲面的結合處到金屬制品曲面的邊緣逐漸增大,所述金屬制品曲面邊緣處相鄰兩個耐腐蝕膠之間的間隙寬度為耐腐蝕膠邊長的1/2~1/1;

(2)遮擋:用耐腐蝕遮擋物將金屬制品的曲面上方遮擋;

(3)初次蝕刻:將遮擋后的金屬制品放在蝕刻機中進行初次蝕刻,從蝕刻機噴嘴中噴出的蝕刻液a的壓力為0.3~1.8psi,蝕刻時間3~10min;

(4)脫膜:將初次蝕刻后的金屬制品清洗脫膜,并將遮擋金屬制品曲面部分的耐腐蝕遮擋物去掉;

(5)再次蝕刻:將脫膜處理后的金屬制品再放到蝕刻機中進行再次蝕刻,從蝕刻機噴嘴中噴出的蝕刻液a的壓力為0.1~0.8psi,蝕刻時間2~6min;

(6)浸泡:對再次蝕刻后的金屬制品進行清洗,然后放到蝕刻液b中浸泡,浸泡時間0.5~2min;

(7)后處理:將經過步驟(6)處理后的金屬制品清洗,并去除金屬制品表面的雜質。

2.如權利要求1所述的用于具有曲面結構的金屬制品表面蝕刻加工方法,其特征在于,所述步驟(1)中耐腐蝕膠的厚度為10~40μm。

3.如權利要求1所述的蝕刻方法,其特征在于,所述步驟(2)中耐腐蝕遮擋物黏貼或卡扣在金屬制品曲面部分的上方。

4.如權利要求1所述的用于具有曲面結構的金屬制品表面蝕刻加工方法,其特征在于,所述步驟(3)中從蝕刻機噴嘴中噴出的蝕刻液a的壓力為0.6~1.2psi,蝕刻時間4~8min。

5.如權利要求1或4所述的用于具有曲面結構的金屬制品表面蝕刻加工方法,其特征在于,所述步驟(3)初次蝕刻后金屬制品表面蝕刻寬度為蝕刻前未掩膜寬度的1.5~2倍。

6.如權利要求1所述的用于具有曲面結構的金屬制品表面蝕刻加工方法,其特征在于,所述步驟(4)采用堿性溶液對初次蝕刻后的金屬制品進行脫膜處理。

7.如權利要求6所述的用于具有曲面結構的金屬制品表面蝕刻加工方法,其特征在于,所述堿性溶液為NaOH溶液。

8.如權利要求1所述的蝕刻方法,其特征在于,所述步驟(5)中從蝕刻機噴嘴中噴出的蝕刻液a的壓力為0.3~0.6psi,蝕刻時間2~4min。

9.如權利要求1所述的蝕刻方法,其特征在于,所述步驟(3)和(5)中的蝕刻液a含有FeCl3、水和NaCl,其中FeCl3、水和NaCl的質量比為5~35:35:1。

10.如權利要求1所述的蝕刻方法,其特征在于,所述步驟(6)中的蝕刻液b含有HNO3、FeCl3、水和NaCl,其中HNO3、FeCl3、水和NaCl的質量比為5~35:5~35:35:1。

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