[發(fā)明專(zhuān)利]大氣等離子體加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310177074.8
• 申請(qǐng)日: 2013-05-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103264414A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王波;金江;姚英學(xué);金會(huì)良;喬政;李娜;辛強(qiáng);李鐸
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B26F3/06
• 分類(lèi)號(hào): B26F3/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.大氣等離子體加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件的裝置，其特征在于它由圓盤(pán)形電極架（1）、薄片形電極模塊（1-1）、地電極（2-3）、龍門(mén)加工機(jī)床（2）、射頻電源（3）、密閉工作艙（5）、混合等離子體氣源（6）組成；

圓盤(pán)形電極架（1）的上端面絕緣連接在龍門(mén)加工機(jī)床（2）的豎直運(yùn)動(dòng)工作轉(zhuǎn)軸（2-1）上，圓盤(pán)形電極架（1）的上端面上設(shè)置有多個(gè)薄片形電極模塊（1-1）的安裝孔（1-4），當(dāng)薄片形電極模塊（1-1）安裝在圓盤(pán)形電極架（1）上的安裝孔（1-4）時(shí)，薄片形電極模塊（1-1）與圓盤(pán)形電極架（1）的直徑所在直線共線，根據(jù)待加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件（4）微結(jié)構(gòu)面型的要求選擇薄片形電極模塊（1-1）的個(gè)數(shù)；使每個(gè)薄片形電極模塊（1-1）都通過(guò)圓盤(pán)形電極架（1）與射頻電源（3）的輸出端連接作為大氣等離子體放電的陽(yáng)極；圓盤(pán)形電極架（1）上的多個(gè)出氣孔（1-2）都通過(guò)圓盤(pán)形電極架（1）中心的導(dǎo)氣孔（1-3）、氣管（6-1）與混合等離子體氣源（6）導(dǎo)氣連通，混合等離子體氣源（6）包含反應(yīng)氣體、大氣等離子體激發(fā)氣體和輔助氣體，圓盤(pán)形電極架（1）上的每個(gè)出氣孔（1-2）的出口端分別設(shè)置在每個(gè)薄片形電極模塊（1-1）附近；將待加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件（4）裝卡在地電極（2-3）上，地電極（2-3）固定在龍門(mén)加工機(jī)床（2）的工作平臺(tái)（2-2）上；將地電極（2-3）接地作為大氣等離子體放電的陰極；將龍門(mén)加工機(jī)床（2）設(shè)置在密閉工作艙（5）中；圓盤(pán)形電極架（1）的回轉(zhuǎn)軸心線與待加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件（4）的軸心線重合，使每片薄片形電極模塊（1-1）的下端面都靠近待加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件（4）的待加工表面，并使它們之間都保持一定的放電間隙，放電間隙范圍均為1mm-5mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大氣等離子體加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件的裝置，其特征在于所述薄片形電極模塊（1-1）的材質(zhì)為鋁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大氣等離子體加工碳化硅密封環(huán)類(lèi)零件的裝置，其特征在于所述混合等離子體氣源（6）中的大氣等離子體激發(fā)氣體為氦氣或氬氣；反應(yīng)氣體為六氟化硫、四氟化碳或三氟化氮；輔助氣體為氧氣、氫氣或氮?dú)狻?/p>