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[發明專利]大面積大氣等離子體均勻放電電極無效

專利信息
申請號: 201310177068.2 申請日: 2013-05-14
公開(公告)號: CN103269556A 公開(公告)日: 2013-08-28
發明(設計)人: 王波;金會良;姚英學;李娜;車琳;辛強;金江;李鐸 申請(專利權)人: 哈爾濱工業大學
主分類號: H05H1/24 分類號: H05H1/24
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 150000 黑龍*** 國省代碼: 黑龍江;23
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 大面積 大氣 等離子體 均勻 放電 電極
【權利要求書】:

1.大面積大氣等離子體均勻放電電極,其特征在于它的形狀為扁片形;其放電面(1)上設置有多個凸起形微電極(2),所有凸起形微電極(2)的形狀尺寸相同,所有凸起形微電極(2)與相鄰凸起形微電極(2)的相互之間的距離都相等,所有凸起形微電極(2)的放電表面與其相對的被加工面的距離都相等;在放電面(1)的外表面上用微弧氧化技術或等離子體噴涂技術覆蓋一層絕緣介質層。

2.根據權利要求1所述的大面積大氣等離子體均勻放電電極,其特征在于所述凸起形微電極(2)為貫通的長條形凸起。

3.根據權利要求2所述的大面積大氣等離子體均勻放電電極,其特征在于所述凸起形微電極(2)的截斷面的形狀為矩形;凸起形微電極(2)的寬度尺寸與其它們相鄰之間的間距尺寸的占空比為0.5?~3,凸起形微電極(2)的高度為0.2?mm?~3?mm。

4.根據權利要求2所述的大面積大氣等離子體均勻放電電極,其特征在于所述凸起形微電極(2)的截斷面的形狀為三角形;凸起形微電極(2)的底部寬度尺寸與其它們相鄰之間的間距尺寸的占空比為0.5?~3,凸起形微電極(2)的高度為0.2?mm?~3?mm。

5.根據權利要求2所述的大面積大氣等離子體均勻放電電極,其特征在于所述凸起形微電極(2)的截斷面的形狀為圓弧形;凸起形微電極(2)的底部寬度尺寸與其它們相鄰之間的間距尺寸的占空比為0.5?~3,凸起形微電極(2)的高度為0.2?mm?~3?mm。

6.?根據權利要求1所述的大面積大氣等離子體均勻放電電極,其特征在于所述凸起形微電極(2)為金字塔形,凸起形微電極(2)的底部尺寸與其它們相鄰之間的間距尺寸的占空比為0.5?~3,凸起形微電極(2)的高度為0.2?mm?~3?mm。

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