[發(fā)明專(zhuān)利]水電極大氣等離子體加工大口徑非球面光學(xué)零件的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310177066.3
• 申請(qǐng)日: 2013-05-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103213172A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王波;李娜;姚英學(xué);李國(guó);金會(huì)良;辛強(qiáng);金江;李鐸
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B26F3/06
• 分類(lèi)號(hào): B26F3/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.水電極大氣等離子體加工大口徑非球面光學(xué)零件的裝置，其特征在于它由成形電極（1）、升降裝置（2）、射頻電源（3）、混合等離子體氣源（5）、水泵（6）組成；

成形電極（1）的上端面絕緣連接在升降裝置（2）的豎直運(yùn)動(dòng)工作架（2-1）上，使成形電極（1）與射頻電源（3）的輸出端連接作為大氣等離子體放電的陽(yáng)極；將待加工光學(xué)零件（4）裝卡在夾具（2-2）上，在待加工零件（4）的下方設(shè)置有直線(xiàn)排列的一排噴頭（2-3），所有噴頭（2-3）都設(shè)置在多自由度運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)（2-4）上，所有噴頭（2-3）的進(jìn)水口都連接水泵（6）的出水口，使待加工光學(xué)零件（4）的下端面與所有噴頭（2-3）的噴嘴口之間有一定的間隙，間隙的距離為1mm-50mm；根據(jù)去除函數(shù)半高寬的要求，所有噴頭（2-3）的噴嘴口的直徑可在0.5mm-50mm范圍內(nèi)調(diào)節(jié)；所有噴頭（2-3）噴出的水都噴射到待加工光學(xué)零件（4）的下端面上，所有噴頭（2-3）噴出的水都通過(guò)噴頭（2-3）接地作為大氣等離子體放電的陰極；成形電極（1）靠近待加工光學(xué)零件（4）的待加工表面，并使它們之間保持一定的放電間隙，放電距離范圍為2mm-5mm；放電間隙附近設(shè)置有出氣管（5-1），出氣管（5-1）的進(jìn)氣端口與混合等離子體氣源（5）的出氣端口導(dǎo)氣連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水電極大氣等離子體加工大口徑非球面光學(xué)零件的裝置，其特征在于所述成形電極（1）的材質(zhì)為鋁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水電極大氣等離子體加工大口徑非球面光學(xué)零件的裝置，其特征在于所述混合等離子體氣源（5）中的大氣等離子體激發(fā)氣體可以為氦氣、氬氣等惰性氣體；反應(yīng)氣體可以為六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等；輔助氣體可以為氧氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水電極大氣等離子體加工大口徑非球面光學(xué)零件的裝置，其特征在于所有噴頭（2-3）噴出的水的電導(dǎo)率為125μs/cm-1250?μs/cm，水的壓力為0.1MPa-0.5Mpa。