[發明專利]一體化等離子體發生裝置

有效

• 申請號: 201310177048.5
• 申請日: 2013-05-14
• 公開（公告）號: CN103237405A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 王波;辛強;姚英學;金會良;丁飛;李娜;金江;李鐸
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: H05H1/30
• 分類號: H05H1/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一體化等離子體發生裝置，其特征在于它由匹配器（1）、電容耦合等離子體射流炬模塊（2）、電感耦合等離子體炬模塊（3）、成形電極模塊（4）組成：

所述電容耦合等離子體射流炬模塊（2）由電容耦合等離子體射流炬（2-1）、第一連接支架（2-2）、第一絕緣連接架（2-3）、第一保護罩（2-4）組成；第一絕緣連接架（2-3）的底端面連接在第一連接支架（2-2）的中部，電容耦合等離子體射流炬（2-1）的外殼中部鑲嵌在第一絕緣連接架（2-3）的孔（2-5）中，第一保護罩（2-4）圍繞在電容耦合等離子體射流炬（2-1）的周圍，并與第一連接支架（2-2）連接，使電容耦合等離子體射流炬（2-1）的噴嘴露在第一連接支架（2-2）和第一保護罩（2-4）的外部；所述電感耦合等離子體炬模塊（3）由電感耦合等離子體炬（3-1）、第二連接支架（3-2）、第二絕緣連接架（3-3）、第二保護罩（3-4）組成；第二絕緣連接架（3-3）的底端面連接在第二連接支架（3-2）的中部，電感耦合等離子體炬（3-1）的外殼中部鑲嵌在第二絕緣連接架（3-3）的孔（3-5）中，第二保護罩（3-4）圍繞在電感耦合等離子體炬（3-1）的周圍，并與第二連接支架（3-2）連接，使電感耦合等離子體炬（3-1）的噴嘴露在第二連接支架（3-2）和第二保護罩（3-4）的外部；所述成形電極模塊（4）由成形電極（4-1）、第三連接支架（4-2）、第三絕緣連接架（4-3）、第三保護罩（4-4）組成；第三絕緣連接架（4-3）的上端面與第三連接支架（4-2）的下端面連接，成形電極（4-1）的上端面與第三絕緣連接架（4-3）的下端面連接，成形電極（4-1）的導電引線（4-5）穿過第三絕緣連接架（4-3）上的孔和第三連接支架（4-2）下側的孔后設置在第三連接支架（4-2）的中部附近，第三保護罩（4-4）圍繞在導電引線（4-5）的周圍，并與第三連接支架（4-2）連接；當匹配器（1）與電容耦合等離子體射流炬模塊（2）組合連接時，電容耦合等離子體射流炬模塊（2）的第一連接支架（2-2）的上端面與匹配器（1）的下面端面連接，匹配器（1）的正極引線穿過第一連接支架（2-2）上端的孔后與電容耦合等離子體射流炬（2-1）的正極引線導電連接，匹配器（1）的負極引線穿過第一連接支架（2-2）上端的孔后與電容耦合等離子體射流炬（2-1）的負極引線導電連接；當匹配器（1）與電感耦合等離子體炬模塊（3）組合連接時，電感耦合等離子體炬模塊（3）的第二連接支架（3-2）的上端面與匹配器（1）的下面端面連接，匹配器（1）的正極引線穿過第二連接支架（3-2）上端的孔后與電感耦合等離子體炬（3-1）的正極引線導電連接，匹配器（1）的負極引線穿過第二連接支架（3-2）上端的孔后與電感耦合等離子體炬（3-1）的負極引線導電連接；當匹配器（1）與成形電極模塊（4）組合連接時，成形電極模塊（4）的第三連接支架（4-2）的上端面與匹配器（1）的下面端面連接，匹配器（1）的正極引線穿過第三連接支架（4-2）上端的孔后與成形電極（4-1）的正極引線導電連接。