[發明專利]成型電極大氣等離子體加工回轉零件裝置

無效

• 申請號: 201310177035.8
• 申請日: 2013-05-14
• 公開（公告）號: CN103236391A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 王波;李鐸;姚英學;金會良;李娜;辛強;金江
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;B23K10/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.成型電極大氣等離子體加工回轉零件裝置，其特征在于它由旋轉成形電極（1）、升降裝置（2）、射頻電源（3）、混合等離子體氣源（5）組成；

旋轉成形電極（1）的上端面絕緣連接在升降裝置（2）的豎直運動工作轉軸（2-1）上，旋轉成形電極（1）的中心開有出氣孔（1-1）；在加工內表面時，旋轉成形電極（1）的工作面直徑尺寸需要比待加工零件（4）的內表面直徑尺寸小5mm-15mm，在加工外表面時，旋轉成形電極（1）的工作面直徑尺寸需要比待加工零件（4）的外表面直徑尺寸大5mm-15mm；出氣孔（1-1）通過氣管（5-1）與混合等離子體氣源（5）導氣連通；使旋轉成形電極（1）與射頻電源（3）的輸出端連接作為大氣等離子體放電的陽極；待加工零件（4）裝卡在載物臺（2-2）上，將載物臺（2-2）接地作為大氣等離子體放電的陰極；旋轉成形電極（1）靠近待加工零件（4）的待加工表面，并使它們之間保持一定的放電間隙，放電距離范圍為5mm-15mm；混合等離子體氣源（5）包含反應氣體、等離子體氣體和輔助氣體，所述反應氣體與等離子體氣體的流量比為1：10~1：50，輔助氣體與反應氣體的流量比為1：10~1：1。

2.根據權利要求1所述的成型電極大氣等離子體加工回轉零件裝置，其特征在于所述轉成形電極（1）為圓形外凸形。

3.根據權利要求1所述的成型電極大氣等離子體加工回轉零件裝置，其特征在于所述轉成形電極（1）為圓形內凹形。

4.根據權利要求1所述的成型電極大氣等離子體加工回轉零件裝置，其特征在于所述轉成形電極（1）為圓管形。

5.根據權利要求1所述的成型電極大氣等離子體加工回轉零件裝置，其特征在于所述旋轉成形電極（1）的材質為鋁、銅、鐵。

6.根據權利要求1所述的成型電極大氣等離子體加工回轉零件裝置，其特征在于所述混合等離子體氣源（5）中的大氣等離子體激發氣體可以為氦氣、氬氣等惰性氣體；反應氣體可以為六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等；輔助氣體可以為氧氣。