[發(fā)明專利]一種起爆序列用V型結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310176131.0
• 申請(qǐng)日: 2013-05-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103288041A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙玉龍;胡騰江;李波;白穎偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): B81B7/02
• 分類號(hào): B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種起爆序列用V型結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器，包括單晶硅襯底（1），其特征在于：?jiǎn)尉Ч枰r底（1）上制作有直徑為150～180um的加速膛孔（5），二氧化硅絕緣層（2）在單晶硅襯底（1）上生長(zhǎng)，生長(zhǎng)厚度為2～3um，將單晶硅結(jié)構(gòu)層（3）與生長(zhǎng)了二氧化硅絕緣層（2）的單晶硅襯底（1）鍵合，單晶硅結(jié)構(gòu)層（3）的厚度為50～100um，金屬電極層（4）沉積在單晶硅結(jié)構(gòu)層（3）的錨點(diǎn)（3-2）上；

MEMS執(zhí)行器在單晶硅結(jié)構(gòu)層（3）中制作，MEMS執(zhí)行器包括錨點(diǎn)（3-2），成陣列結(jié)構(gòu)的V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元（3-3）的兩端與錨點(diǎn)（3-2）連接，中間臂（3-4）位于V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元（3-3）的中間并相互固定，柔性梁（3-5）的兩端分別與中間臂（3-4）和杠桿（3-1）的首端相連接，隔板（3-6）制作在杠桿（3-1）的末端，隔板（3-6）將加速膛孔（5）擋住；

所述的MEMS執(zhí)行器是除去與錨點(diǎn)（3-2）鍵合的部分，其余的二氧化硅絕緣層（2）將被腐蝕掉，使杠桿（3-1）、V型梁熱電執(zhí)行器（3-3）、中間臂（3-4）、柔性梁（3-5）以及隔板（3-6）懸空，形成最終的可動(dòng)結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種起爆序列用V型結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器，其特征在于：所述的V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元（3-3）的總長(zhǎng)度為1000～2000um，寬為30～40um，中間夾角為160～170°，每組V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元之間的間距為80～100um。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種起爆序列用V型結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器，其特征在于：所述的柔性梁（3-5）的長(zhǎng)度為300～500um，寬度為10～15um。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種起爆序列用V型結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器，其特征在于：所述的隔板（3-6）為邊長(zhǎng)200～250um的正方形結(jié)構(gòu)。