[發明專利]掩模支撐框架和具有掩模支撐框架的掩模組件

有效

• 申請號: 201310174953.5
• 申請日: 2013-05-13
• 公開（公告）號: CN103427047B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 金容煥
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;姚志遠

技術領域

本公開主要涉及掩模支撐框架和包括掩模的掩模組件。更具體地，本公開主要涉及用于支撐用于沉積有機發射層的掩模的框架。

背景技術

顯示設備被廣泛用于在電子設備中顯示圖像。最近，有機發光二極管（OLED）顯示器已經開始流行。

不同于液晶顯示器（LCD），OLED具有自發光特性且不需要額外的光源，故而可以減小顯示裝置的厚度和重量。OLED表現出高質量特性，諸如低功耗、高亮度、以及快速響應速度。

為了制造OLED顯示器，形成具有特定圖案的電極、有機發射層等，并可采用使用掩模組件的沉積方法。

在更多細節中，有機發光顯示器包括以矩陣形式排列的像素。為了形成像素，形成具有陽電極和陰電極的有機發光二極管，其中對于電極之間的每個像素，有機發射層都發出光，諸如紅光、綠光或藍光等。形成有機發射層的有機材料非常容易受到水分、氧氣等影響，從而在形成有機發射層的過程中并在形成有機發射層之后將這些有機材料與水分隔離開來。因此，難以通過使用普通光刻處理來形成有機發光材料的圖案。因此，通過使用具有允許沉積材料從中穿過的、構圖的開口的掩模來形成有機發射層。在使用時，掩模附接至掩模支撐框架并由掩模支撐框架支撐。

背景技術部分公開的上述信息僅用于增強對所述技術的背景的理解，因此，這些內容可能含有不構成在該國對本領域技術人公知的現有技術的信息。

發明內容

一個方面提供了一種掩模支撐框架，其用于避免由沿掩模的長度方向施加的張緊力生成的掩模的寬度方向上的起伏。

一個實施方式提供了一種用于支撐掩模的掩模支撐框架，所述框架被配置為固定掩模的兩個端部并沿第一方向向所述掩模施加張力，所述框架包括：框架主體，限定用于暴露所述掩模的構圖開口區的開口；以及端部張緊器，聯接至所述框架主體，并被配置為沿與所述第一方向相交的第二方向向所述掩模的兩個端部之一施加張力。

所述框架被配置為固定額外的多個掩模，使得所述多個掩模并排設置并沿所述第二方向布置。所述掩模的兩個端部中的每一個均包括中央區和兩個外圍區，所述中央區和所述兩個外圍區沿所述第二方向布置，使得所述中央區位于所述外圍區之間，其中所述中央區被配置為附接至所述框架主體的掩模座，其中所述外圍區之一被配置為附接至所述端部張緊器。

所述框架主體包括掩模座和凹處，所述掩模座中的每一個被配置為聯接至所述掩模之一的端部，所述凹處設置在兩個相鄰掩模座之間，以及所述端部張緊器設置在所述凹處中。

所述框架主體包括滑動引導器，所述滑動引導器形成于所述凹處中并沿所述第二方向延伸；以及所述端部張緊器包括滑動器，所述滑動器與所述滑動引導器嚙合，所述滑動器被配置為沿所述第二方向滑動，所述滑動器進一步被配置為聯接至所述掩模。

所述框架，還包括分離防止軸，所述分離防止軸沿所述第二方向延伸穿過所述滑動器并連接至所述框架主體。

所述框架，還包括張力調節器，所述張力調節器被配置為調節所述第二方向上的張力的量。

所述張力調節器包括：第一齒條，聯接至所述框架主體，沿所述第二方向延伸并包括第一齒；第二齒條，聯接至所述滑動器，與所述第一齒條相對并包括第二齒；齒輪，與所述第一齒和所述第二齒嚙合，并位于所述第一齒與所述第二齒之間；以及旋轉軸，固定至所述齒輪并突出所述框架主體之外。

另一個實施方式提供了一種掩模組件，包括：上述掩模支撐框架；以及至少一個掩模，包括通過沿所述第一方向施加的張力由所述框架固定的兩個端部。

根據這些實施方式，提供了用于通過沿掩模的長度方向施加的張緊力避免或最小化掩模的寬度方向上生成起伏的掩模支撐框架，并且還提供了包括該掩模支撐框架的掩模組件。

附圖說明

圖1示出根據第一實施方式的掩膜組件的立體圖；

圖2示出圖1的部分A；

圖3示出沿圖2的線III-III截取的截面圖；

圖4示出根據第二實施方式的掩膜組件的一部分；

圖5示出沿圖4的線V-V截取的截面圖。

具體實施方式

下文中將參照附圖更加全面地描述實施方式。本領域技術人員應了解，在不背離本發明的精神和范圍的情況下，可以通過各種不同方式修改所述實施方式。

相應地，附圖和描述被認為在本質上是示意性而非限制性的。在說明書中，相同的參考標號指代相同的元件。