[發明專利]飛秒激光束制備非對稱微納復合周期花樣的系統及方法

無效

• 申請號: 201310172920.7
• 申請日: 2013-05-10
• 公開（公告）號: CN103286453A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 賈鑫;賈天卿
• 申請（專利權）人: 上海電機學院
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/067;G02B27/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種飛秒激光束制備非對稱微納復合周期花樣的系統，其特征在于，包括：

產生飛秒激光脈沖的光源；

依次設置于所述光源的光路上的電子快門、第一半波片、第一格蘭棱鏡和第一分束片；

依次設置于所述第一分束片的反射光束的光路上的第一延時光路裝置、第一全反光鏡、第二全反光鏡、第一匯聚透鏡和第二半波片；

設置于所述第一分束片的透射光束的光路上的第二分束片；

依次設置于所述第二分束片的反射光束的光路上的第二延時光路裝置、爬高鏡、第二匯聚透鏡和第一四分之一波片；

依次設置于所述第二分束片的透射光束的光路上的第三全反光鏡、第四全反光鏡、第五全反光鏡、第三匯聚透鏡和第三半波片。

2.一種采用如權利要求1所述的飛秒激光束制備非對稱微納復合周期花樣的系統的飛秒激光束制備非對稱微納復合周期花樣的方法，其特征在于，包括：

調節電子快門的開合時間以控制飛秒激光脈沖的照射脈沖數；

調節第二全反光鏡和第五全反光鏡，使經過所述第二半波片后的光束、經過所述第一四分之一波片后的光束和經過所述第三半波片后的光束在樣品位置重合于一點，且三個光束中的任意兩束光之間的第一夾角相同，三個光束的空間位置的連線構成正三角形；

旋轉第一四分之一波片使經過所述第一四分之一波片后的光束為圓偏振光，旋轉第二半波片和第三半波片，以使經過所述第二半波片后的光束和經過所述第三半波片后的光束為線偏振光，且經過所述第二半波片后的光束的偏振方向和經過所述第三半波片后的光束的偏振方向分別與x軸具有相同的第二夾角，其中，所述x軸為經過所述第二半波片后的光束和經過所述第三半波片后的光束的空間位置的連線；

在所述樣品位置放置BBO晶體，旋轉第一半波片使飛秒激光脈沖的能量減小至所述BBO晶體的破壞閾值以下，調節第一延時光路裝置和第二延時光路裝置使經過所述第二半波片后的光束、經過所述第一四分之一波片后的光束和經過所述第三半波片后的光束同時到達所述樣品位置；

將所述樣品位置的BBO晶體更換為半導體材料，通過調節第一格蘭棱鏡以確定主光路的光束偏振方向，旋轉第一半波片以調節主光路的脈沖能量，并旋轉第二半波片和第三半波片，以調節經過所述第二半波片后的光束的偏振方向和經過所述第三半波片后的光束的偏振方向與x軸的相同的第二夾角的大小，以在所述半導體材料上制備各種非對稱微納復合周期花樣。