[發明專利]基于納米級粒子流的激光打孔方法有效
| 申請號： | 201310172352.0 | 申請日： | 2013-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN103240526A | 公開（公告）日： | 2013-08-14 |
| 發明（設計）人： | 楊紅艷;趙永瑞;王妍;馬洪波;畢明路;鄭大安 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第五十四研究所 |
| 主分類號： | B23K26/14 | 分類號： | B23K26/14;B23K26/38 |
| 代理公司： | 河北東尚律師事務所 13124 | 代理人： | 王文慶 |
| 地址： | 050081 河北省石家*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 納米 粒子 激光 打孔 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于納米級粒子流的激光打孔方法，其特征在于：包括以下步驟：
（1）將紫外光激光束的功率密度調整到大于107Wcm2，并且將激光束精確地聚焦到打孔材料的打孔部位；
（2）順著紫外光激光束的方向流過0.6Mpa-1.0Mpa納米級惰性粒子流；
（3）用紫外光激光束對打孔部位進行打孔，打孔時間小于0.1秒。
2.根據權利要求書1所述的基于納米級粒子流的激光打孔方法，其特征在于：所述的紫外光為UV級，波長為355nm-266nm。
3.根據權利要求書1所述的基于納米級粒子流的激光打孔方法，其特征在于：所述的納米級惰性粒子流為納米級惰性氮氣流或納米級鈦粒子流。
4.根據權利要求書1所述的基于納米級粒子流的激光打孔方法，其特征在于：所述激光束的直徑為20um。
5.根據權利要求書1所述的基于納米級粒子流的激光打孔方法，其特征在于：步驟（3）中的打孔時間為0.001秒。
6.根據權利要求書3所述的基于納米級粒子流的激光打孔方法，其特征在于：納米級鈦粒子流為0.3Mpa。
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