[發明專利]一種磁加載晶片研磨方法及裝置有效
| 申請號： | 201310170615.4 | 申請日： | 2013-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN103252713A | 公開（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發明（設計）人： | 王揚渝;文東輝;樸鐘宇;計時鳴;魯聰達;周浩東 | 申請（專利權）人： | 浙江工業大學 |
| 主分類號： | B24B37/30 | 分類號： | B24B37/30;B24B37/04 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241 | 代理人： | 王利強 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加載 晶片 研磨 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種磁加載晶片研磨方法，其特征在于：該研磨方法采用同極相對的方式安裝粘貼于加載盤以及上研磨盤上的磁鋼之間產生同性相斥的磁場力，實現研磨壓力的非接觸加載。
2.如權利要求1所述的磁加載晶片研磨方法，其特征在于：在加載盤以及上研磨盤之間充滿緩沖液。
3.一種實現如權利要求1所述的磁加載晶片研磨方法的磁加載晶片研磨裝置，其特征在于：包括晶片夾持裝置和下研磨盤，所述晶片夾持裝置內安裝有加載桿、殼體、緩沖液、加載盤、加載磁鋼、上研磨盤和受載磁鋼，所述殼體內充滿緩沖液，所述加載盤位于殼體內腔下部，上研磨盤位于加載盤的下方，加載盤下端面安裝有加載磁鋼，上研磨盤上端面安裝有受載磁鋼，加載磁鋼和受載磁鋼均為永久磁鐵，且加載磁鋼和受載磁鋼的相對面是相同極性，所述下研磨盤的底面安裝所述晶片，所述晶片的下方為下研磨盤，所述加載桿上端伸出所述外殼，所述加載桿下端固定安裝在所述加載盤上。
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