[發(fā)明專利]柔性電容心電干電極及其加工方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310168541.0 | 申請日: | 2013-05-06 |
| 公開(公告)號: | CN103271736A | 公開(公告)日: | 2013-09-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉景全;彭慧玲;王龍飛;楊斌;朱紅英;楊春生 | 申請(專利權(quán))人: | 無錫交大聯(lián)云科技有限公司 |
| 主分類號: | A61B5/0408 | 分類號: | A61B5/0408 |
| 代理公司: | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人: | 樓高潮 |
| 地址: | 214135 江蘇省無錫市新*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 柔性 電容 心電干 電極 及其 加工 方法 | ||
1.柔性電容心電干電極,其特征在于:所述電極依次包括傳感層、絕緣層、屏蔽層;所述屏蔽層包括第一屏蔽層和第二屏蔽層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電容心電干電極,其特征在于:所述傳感層和絕緣層引出傳感層連接線,所述傳感層連接線的一端具有傳感層外部電路接口;所述第二屏蔽層和第一屏蔽層引出屏蔽層連接線,所述屏蔽層連接線的一端具有屏蔽層外部電路接口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性電容心電干電極,其特征在于:所述電極形狀為圓形,半徑為5mm-20mm,所述傳感層的厚度為20um-100um,所述屏蔽層的厚度為20um-100um。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性電容心電干電極,其特征在于:所述第一屏蔽層和傳感層的材料為Ni?,所述絕緣層材質(zhì)為光刻膠、聚酰亞胺或聚碳酸酯高分子材料,第二屏蔽層材質(zhì)為Cr/Cu。
5.權(quán)利要求1-4所述的柔性電容心電干電極的制作方法,包括下述步驟:
(1)以玻璃為基底;
(2)在玻璃基底上沉積金屬作為種子層;
(3)光刻、圖形化種子層;
(4)電鍍金屬層形成傳感層;
(5)金屬層上旋涂光刻膠形成絕緣層;
(6)絕緣層上沉積金屬作為種子層;
(7)光刻、圖形化形成第二屏蔽層;
(8)電鍍金屬層形成第一屏蔽層;
(9)從玻璃基底釋放整個電容電極形成柔性電容心電干電極。
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