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[發(fā)明專利]柔性電容心電干電極及其加工方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310168541.0 申請日: 2013-05-06
公開(公告)號: CN103271736A 公開(公告)日: 2013-09-04
發(fā)明(設(shè)計)人: 劉景全;彭慧玲;王龍飛;楊斌;朱紅英;楊春生 申請(專利權(quán))人: 無錫交大聯(lián)云科技有限公司
主分類號: A61B5/0408 分類號: A61B5/0408
代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 代理人: 樓高潮
地址: 214135 江蘇省無錫市新*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 柔性 電容 心電干 電極 及其 加工 方法
【權(quán)利要求書】:

1.柔性電容心電干電極,其特征在于:所述電極依次包括傳感層、絕緣層、屏蔽層;所述屏蔽層包括第一屏蔽層和第二屏蔽層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電容心電干電極,其特征在于:所述傳感層和絕緣層引出傳感層連接線,所述傳感層連接線的一端具有傳感層外部電路接口;所述第二屏蔽層和第一屏蔽層引出屏蔽層連接線,所述屏蔽層連接線的一端具有屏蔽層外部電路接口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性電容心電干電極,其特征在于:所述電極形狀為圓形,半徑為5mm-20mm,所述傳感層的厚度為20um-100um,所述屏蔽層的厚度為20um-100um。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性電容心電干電極,其特征在于:所述第一屏蔽層和傳感層的材料為Ni?,所述絕緣層材質(zhì)為光刻膠、聚酰亞胺或聚碳酸酯高分子材料,第二屏蔽層材質(zhì)為Cr/Cu。

5.權(quán)利要求1-4所述的柔性電容心電干電極的制作方法,包括下述步驟:

(1)以玻璃為基底;

(2)在玻璃基底上沉積金屬作為種子層;

(3)光刻、圖形化種子層;

(4)電鍍金屬層形成傳感層;

(5)金屬層上旋涂光刻膠形成絕緣層;

(6)絕緣層上沉積金屬作為種子層;

(7)光刻、圖形化形成第二屏蔽層;

(8)電鍍金屬層形成第一屏蔽層;

(9)從玻璃基底釋放整個電容電極形成柔性電容心電干電極。

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