[發明專利]一種掩膜版回推機構

有效

• 申請號: 201310168049.3
• 申請日: 2013-05-08
• 公開（公告）號: CN104142612A
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 王剛;胡松立;姜曉玉
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種掩膜版回推機構，其特征在于，包括旋轉機構和推動機構，所述旋轉機構包括電機、傳動機構以及曲柄連桿機構，所述曲柄連桿機構與密封門連接，所述電機通過所述傳動機構驅動所述曲柄連桿機構轉動，進而驅動連接在所述曲柄連桿機構上的密封門運動；所述推動機構固定于所述密封門上。

2.如權利要求1所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述推動機構包括推版、支架以及兩連桿，所述推版與支架的兩端分別通過所述連桿活動連接，所述支架固定于所述密封門上。

3.如權利要求2所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述推版通過連接板和螺栓與所述連桿連接。

4.如權利要求2所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述支架通過墊板和螺栓與所述密封門連接。

5.如權利要求2所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述推版采用無色有機玻璃板。

6.如權利要求2所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述連桿采用鋼絲。

7.如權利要求2所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述推動機構還包括軸承，所述軸承通過鉸鏈銷固定于所述推版的底部。

8.如權利要求7所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述軸承為聚酰脂成型軸承。

9.如權利要求2所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述推動機構還包括上限位板、下限位板以及擋塊，所述上限位板和下限位板分別固定于所述支架上，且所述上限位板和下限位板的位置分別與所述推版相對于所述支架最高和最低的位置相對應，所述擋塊固定于所述支架上，與所述下限位板的位置相對應。

10.如權利要求9所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述下限位板上開有腰型孔，所述下限位板通過所述腰型孔固定于所述支架上。

11.如權利要求1所述的掩膜版回推機構，其特征在于，所述傳動機構包括同步帶和齒輪，所述電機通過所述同步帶帶動所述齒輪旋轉，所述齒輪驅動所述曲柄連桿機構轉動；所述曲柄連桿機構包括主動曲柄、從動曲柄以及曲柄連桿，所述主動曲柄與所述齒輪固定連接，所述主動曲柄通過所述從動曲柄帶動所述曲柄連桿運動，所述曲柄連桿與所述密封門固定連接。