[發(fā)明專利]測(cè)量?jī)杉す夤馐鴬A角的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310167240.6
• 申請(qǐng)日: 2013-05-08
• 公開（公告）號(hào): CN103256902A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬林;梁曉燕;於亮紅;儲(chǔ)玉喜;徐露;李儒新;徐至展
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01B11/26
• 分類號(hào): G01B11/26
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種測(cè)量?jī)杉す夤馐鴬A角的方法，其特征在于該方法包括下列步驟：

①在第一光源（1）發(fā)出的第一激光光束（2）和第二光源（3）發(fā)出的第二激光光束（4）的交點(diǎn)位置附近放置平移臺(tái)（5），將CCD（6）豎直且垂直于平移臺(tái)（5）的平移方向固定在所述的平移臺(tái)（5）上，并將所述的CCD（6）的輸出端與電腦（7）的輸入端相連，利用所述的CCD（6）采集光斑圖像信息射入所述的電腦（7），在所述的電腦（7）上運(yùn)行光斑中心計(jì)算軟件，獲得該光斑圖像的中心位置，通過所述的平移臺(tái)（5）移動(dòng)所述的CCD（6），所述的CCD（6）第二次采集光斑圖像信息，所述的電腦（7）上運(yùn)行光斑中心計(jì)算軟件，獲得第二個(gè)光斑圖像的中心位置，當(dāng)該第N個(gè)光斑圖像的中心位置與第N-1的光斑圖像的中心位置相同，則第N個(gè)光斑圖像的中心位置即為所述的兩激光光束的交點(diǎn)在所述的CCD（6）的中心坐標(biāo)X₀，Y₀，并記錄此時(shí)所述的平移臺(tái)（5）的平移刻度L₀；

②平移所述的平移臺(tái)（5），記錄平移后的所述的平移臺(tái)刻度L₁、所述的第一激光光束（2）和第二激光光束（4）分別在所述的CCD（6）上的光斑中心位置坐標(biāo)為X₁,Y₁和X₂，Y₂，計(jì)算出所述的平移臺(tái)的平移量ΔL=L₁-L₀，所述的第一激光光束（1）和第二激光光束（4）在所述的CCD（6）上的距離為：Z3=(X1-X2)2+(Y1-Y2)2;]]>

③所述的CCD（6）平移前后，所述的第一激光光束（2）在所述的CCD上的位移量為：所述的第二激光光束（4）在所述的CCD（6）上的位移量為：由勾股定理可得，所述的第一激光光束（2）在所述的CCD（6）平移前后的光程為所述的第二激光光束（4）在所述的CCD（6）平移前后的光程為Z2=ΔL2+m22,]]>由余弦定理可得cosθ=Z12+Z22-Z322Z1Z2,]]>因此所述的兩激光光束的夾角為：

θ=arccos(Z12+Z22-Z322Z1Z2).]]>