[發明專利]質量重心測量裝置及方法有效
| 申請號： | 201310167089.6 | 申請日： | 2013-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN104142209A | 公開（公告）日： | 2014-11-12 |
| 發明（設計）人： | 夏海 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司 |
| 主分類號： | G01M1/12 | 分類號： | G01M1/12 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 質量 重心 測量 裝置 方法 | ||
1.一種質量重心測量裝置，其特征在于，包括基座和多個支撐機構，每個支撐機構包括依次連接的水平向調節機構、垂向調節機構和小型力傳感器，其中，
所述基座上設置有多條滑槽和多個水平測量尺；
所述水平向調節機構分別設置于所述滑槽內，以使所述水平向調節機構在滑槽內滑移；
所述垂向調節機構用于支撐一待測量部件，每個垂向調節機構上設置有垂向精密測量裝置；
所述小型力傳感器用于測量所述待測量部件的支撐點的垂向力。
2.如權利要求1所述的質量重心測量裝置，其特征在于，每個水平向調節機構上設置有固定螺釘，用于將所述水平向調節機構固定于所述基座上。
3.如權利要求1所述的質量重心測量裝置，其特征在于，所述小型力傳感器的頂部設置有球鉸機構。
4.如權利要求1所述的質量重心測量裝置，其特征在于，每個垂向調節機構上設置有防滑移部件，用于防止所述待測量部件滑移。
5.如權利要求1所述的質量重心測量裝置，其特征在于，所述待測量部件為一光刻裝置的運動部件。
6.如權利要求1所述的質量重心測量裝置，其特征在于，所述垂向精密測量裝置為千分尺或者游標卡尺。
7.如權利要求1所述的質量重心測量裝置，其特征在于，所述支撐機構、滑槽和水平測量尺的數量均為四個，所述滑槽和水平測量尺沿所述基座的對角線設置。
8.一種采用如權利要求1至7任一項所述的質量重心測量裝置的質量重心測量方法，其特征在于，包括：
調節所述水平向調節機構在所述滑槽內的位置，以使所述垂向調節機構支撐起所述待測量部件；
選擇所述待測量部件上的一個位置作為原點，建立以所述原點為中心的X和Y向坐標軸，所述水平測量尺測量所述待測量部件的支撐點的位置，從而獲得相鄰兩支撐點之間的距離；
根據所述垂向精密測量裝置的讀數調整每個垂向調節機構的垂向距離，以使所述待測量部件保持水平；
所述小型力傳感器測量所述待測量部件保持水平時的支撐點的第一垂向力，根據所述第一垂向力確定所述待測量部件的質量；
根據所述待測量部件的質量、相鄰兩支撐點之間的距離和第一垂向力確定所述待測量部件的水平向重心；
以所述待測量部件的其中相鄰兩個支撐點的連線為軸將所述待測量部件轉動α角；
所述小型力傳感器測量所述待測量部件另外兩個支撐點的第二垂向力；
根據所述待測量部件的質量、相鄰兩支撐點之間的距離、第一垂向力、水平向重心、α角和第二垂向力確定所述待測量部件的垂向重心。
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