[發(fā)明專利]自動(dòng)微操作裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310166431.0
• 申請(qǐng)日: 2013-05-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103264385A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁慶丹;盧清華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 袁慶丹;盧清華
• 主分類號(hào): B25J7/00
• 分類號(hào): B25J7/00;B25J13/08;B25J19/04;B25J19/00
• 代理公司: 佛山市永裕信專利代理有限公司 44206
• 代理人: 楊啟成

1.一種自動(dòng)微操作裝置，其特征在于包括設(shè)置在基座上的多自由度機(jī)械手部分、微定位平臺(tái)部分、自動(dòng)變焦顯微視覺(jué)部分、微電腦控制部分，多自由度機(jī)械手部分包括設(shè)置在基座上的帶有關(guān)節(jié)傳感器的五自由度機(jī)械手、由五自由度機(jī)械手帶動(dòng)的微夾鉗，微定位平臺(tái)部分包括設(shè)置在基座上的宏動(dòng)臺(tái)、設(shè)置在宏動(dòng)臺(tái)上的微動(dòng)臺(tái)、設(shè)置在微動(dòng)臺(tái)上的載物臺(tái)、設(shè)置在微動(dòng)臺(tái)上的微位移檢測(cè)器，自動(dòng)變焦顯微視覺(jué)部分包括設(shè)置在基座上的垂直升降平臺(tái)、由垂直升降平臺(tái)帶動(dòng)的帶有照明光源的顯微鏡、設(shè)置在顯微鏡上的攝像機(jī)，在宏動(dòng)臺(tái)旁的基座上設(shè)置有大距離位移檢測(cè)器，關(guān)節(jié)傳感器的電信號(hào)輸出、大距離位移檢測(cè)器的電信號(hào)輸出、微位移檢測(cè)器的電信號(hào)輸出分別與微電腦控制部分的電信號(hào)輸入相連，微電腦部分控制五自由度機(jī)械手、微夾鉗、宏動(dòng)臺(tái)、微動(dòng)臺(tái)、垂直升降平臺(tái)的動(dòng)作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)微操作裝置，其特征在于在基座與宏動(dòng)臺(tái)間設(shè)置有隔振臺(tái)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的自動(dòng)微操作裝置，其特征在于宏動(dòng)臺(tái)是X軸、Y軸兩自由度的動(dòng)力移動(dòng)臺(tái)，大距離位移檢測(cè)器有兩個(gè)，分別位于宏動(dòng)臺(tái)的X軸、Y軸方向，微動(dòng)臺(tái)由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的X軸、Y軸兩自由度的基于柔性鉸鏈差式杠桿機(jī)構(gòu)，微位移檢測(cè)器有兩個(gè)，分別位于微動(dòng)臺(tái)的X軸、Y軸方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)微操作裝置，其特征在于大距離位移檢測(cè)器采用的是直線光柵位移檢測(cè)器，微位移檢測(cè)器采用的是DVD激光探頭位移檢測(cè)器。