[發明專利]一種新的激光干涉測長方法

無效

• 申請號: 201310163418.X
• 申請日: 2013-05-07
• 公開（公告）號: CN103234461A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 高瞻;李光宇;汪盛佳;馮子昂;馮其波
• 申請（專利權）人: 北京交通大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 史雙元

1.一種新的激光干涉測長方法，其特征在于，該測長方法使用兩束波長非常接近的激光，通過光波場的疊加，構造出波長比較大的等效波長，用于對被測物的測量，其中，所測長度為可動光電探測器移動的距離；具體步驟如下：

1）選擇兩個激光波長非常接近的激光器，分別以45°入射角照射到分光平片上；

2）經過分光平片的透射和反射作用，兩束激光疊加為一束合成激光，疊加后的激光光束通過準直擴束系統，進行準直擴束；

3）經過準直擴束后的激光直接照射到與被測物固聯的光電探測器上，當被測物發生位移時，光電探測器將接收一段時間內的物體位移的過程記錄下來，獲得含有物體位移信息的時間序列的接收光強強度，儲存到計算機上；

4）計算機對光電探測器獲得的時間序列光強強度數據進行傅里葉變換，得到光強強度頻譜圖，并對頻譜圖進行濾波，逆傅里葉變換獲得相位，進行相位去包裹的數據處理后，最終獲得物體位移的信息。

2.根據權利要求1所述一種新的激光干涉測長方法，其特征在于，所述激光準直擴束系統由空間濾波器4和凸透鏡5組成。

3.根據權利要求1所述一種新的激光干涉測長方法，其特征在于，所述激光干涉測長的測量范圍取決于所使用激光器的相干長度，以測定出物體在任意時刻的位移長度。