[發明專利]慣性力傳感器

有效

• 申請號: 201310162684.0
• 申請日: 2007-01-22
• 公開（公告）號: CN103278147A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 大內智;相澤宏幸;寺田二郎;石田貴巳;佐藤一郎;大越偉生;足森洋平
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: G01C19/5607
• 分類號: G01C19/5607;G01P15/097;G01P15/18
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 劉曉迪

本發明是松下電器產業株式會社于2007年1月22日提交的名稱為“慣性力傳感器”的中國專利申請第200780001605.0的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種用于飛機、汽車、機器人、船舶、車輛等移動物體的姿態控制、或者導航（navigation）裝置等各種電子設備中的、用以檢測慣性力的慣性力傳感器。

背景技術

以下，對于現有的慣性力傳感器進行說明。

目前使用的是用于檢測角速度或者加速度等慣性力的慣性力傳感器。當使用現有的慣性力傳感器時，為了檢測角速度，而使用專用角速度傳感器，為了檢測加速度而使用專用加速度傳感器。而且，當對與相互正交的X軸、Y軸、Z軸多個檢測軸相對應的角速度和加速度進行檢測時，使用與檢測軸數量相對應的多個角速度傳感器和加速度傳感器。

因此，在各種電子設備中，對角速度和加速度進行綜合檢測時，或者對多個檢測軸檢測角速度和加速度時，將多個角速度傳感器和加速度傳感器分別安裝在電子設備的安裝基板上。

例如，角速度傳感器中，使音叉形狀、或者H形狀、T形狀等各種形狀的檢測元件振動，電探測因科里奧利力的產生而引起的檢測元件的變形，以檢測角速度。而且，例如加速度傳感器具有錘部，通過和工作前進行比較而探測錘部伴隨加速度的移動，來檢測加速度。

這種現有的角速度傳感器和加速度傳感器等多種慣性力傳感器，相應于檢測對象的慣性力或者檢測軸，在車輛等移動物體的姿態控制裝置或者導航裝置等中被使用。

另外，現有的慣性力傳感器，例如，在日本專利特開2001-208546號公報（專利文獻1）、或者日本專利特開2001-74767號公報（專利文獻2）等中被公開。

專利文獻1：日本專利特開2001-208546號公報

專利文獻2：日本專利特開2001-74767號公報

發明內容

本發明提供一種小型慣性力傳感器，無需用于安裝多個慣性力傳感器的較大安裝面積，便可對角速度或者加速度等互不相同的多個慣性力、或者多個檢測軸的慣性力進行檢測。

本發明的慣性力傳感器包括用于檢測慣性力的檢測元件，檢測元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂與第2臂在實質上正交的方向上連結，支承部支承第1臂。另外，第2臂具有彎折部。本發明提供一種根據此結構實現對互不相同的多個慣性力進行檢測，且實現對多個檢測軸的慣性力進行檢測的小型慣性力傳感器。

附圖說明

圖1A為表示本發明第一實施方式中慣性力傳感器所使用的檢測元件的平面圖。

圖1B為表示圖1A所示的檢測元件工作狀態的工作狀態圖。

圖2A為表示本發明第一實施方式中另一形態的檢測元件的平面圖。

圖2B為表示本發明第一實施方式中又一形態的檢測元件的平面圖。

圖3為表示本發明第二實施方式中慣性力傳感器工作狀態的工作狀態圖。

圖4A為表示本發明第三實施方式中慣性力傳感器所使用的檢測元件的平面圖。

圖4B為表示圖4A所示的檢測元件工作狀態的工作狀態圖。

圖5A為表示本發明第三實施方式中另一形態的檢測元件的平面圖。

圖5B為表示本發明第三實施方式中又一形態的檢測元件的平面圖。

圖6A為本發明第四實施方式中慣性力傳感器所使用的檢測元件的平面圖。

圖6B為表示圖6A所示的檢測元件工作狀態的工作狀態圖。

圖7A為表示本發明第四實施方式中另一形態的檢測元件的平面圖。

圖7B為表示本發明第四實施方式中又一形態的檢測元件的平面圖。

圖8A為本發明第五實施方式中慣性力傳感器所使用的檢測元件的平面圖。

圖8B為表示圖8A所示的檢測元件工作狀態的工作狀態圖。

圖9為表示在本發明第五實施方式中另一形態下的檢測元件的平面圖。

圖10為本發明第五實施方式中又一形態的檢測元件的立體圖。

圖11為本發明第六實施方式中慣性力傳感器所使用的檢測元件的平面圖。

圖12為表示圖11所示的檢測元件工作狀態的工作狀態圖。

圖13為本發明第六實施方式中另一形態的檢測元件的平面圖。

圖14A為本發明第六實施方式中又一形態的檢測元件的平面圖。

圖14B為本發明第六實施方式中再另一形態的檢測元件的平面圖。

附圖標記說明

1???檢測元件