[發(fā)明專利]拋光設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310158460.2
• 申請日: 2008-10-28
• 公開（公告）號: CN103252714A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鍋谷治;戶川哲二;安田穗積;齋藤康二;福島誠
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B24B37/32
• 分類號: B24B37/32
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 蔡洪貴

1.一種用于拋光基板的設(shè)備，包括：

具有拋光表面的拋光臺；

設(shè)置成用于保持基板、并將基板壓靠到所述拋光表面的頂環(huán)本體；

設(shè)置在所述頂環(huán)本體的外周部分、并設(shè)置成用于壓靠所述拋光表面的保持環(huán)；以及

固定到所述頂環(huán)本體的保持環(huán)引導(dǎo)部，所述保持環(huán)引導(dǎo)部設(shè)置成用于與所述保持環(huán)的環(huán)部件滑動接觸以引導(dǎo)所述環(huán)部件的運動；

其中，在所述保持環(huán)的所述環(huán)部件的外周上設(shè)置有低摩擦材料部件，以使所述低摩擦材料部件與所述保持環(huán)引導(dǎo)部滑動接觸，所述低摩擦材料被定義為具有0.35或更小的摩擦系數(shù)的材料。

2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述低摩擦材料部件包括樹脂材料，所述樹脂材料包括聚四氟乙烯（PTFE）或PEEK·PPS。

3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述低摩擦材料部件被裝配到所述環(huán)部件的外周上。

4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述低摩擦材料部件包括柔性部件；以及

所述低摩擦材料部件被安裝在所述環(huán)部件上，從而變成與所述環(huán)部件的外周對應(yīng)的圓形形狀。

5.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，還包括設(shè)置在所述低摩擦材料部件被裝配到所述環(huán)部件上的位置處的保持裝置，所述保持裝置設(shè)置成用于防止所述低摩擦材料部件從所述環(huán)部件掉落。

6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述低摩擦材料部件包括具有兩個端部的帶狀或塊狀部件。

7.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，多個所述帶狀或塊狀部件以在相鄰帶狀或塊狀部件之間形成間隙的方式設(shè)置在所述環(huán)部件的外周上。

8.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，還包括設(shè)置成用于阻止所述低摩擦部件相對于所述環(huán)部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)阻止裝置。

9.一種用于拋光基板的設(shè)備，包括：

具有拋光表面的拋光臺；

設(shè)置成用于保持基板、并將基板壓靠到所述拋光表面的頂環(huán)本體；

設(shè)置在所述頂環(huán)本體的外周部分、并設(shè)置成用于壓靠所述拋光表面的保持環(huán)；以及

固定到所述頂環(huán)本體的保持環(huán)引導(dǎo)部，所述保持環(huán)引導(dǎo)部設(shè)置成用于與所述保持環(huán)的環(huán)部件滑動接觸以引導(dǎo)所述環(huán)部件的運動；

其中，對所述環(huán)部件和所述保持環(huán)引導(dǎo)部的相互滑動接觸的滑動接觸表面中的至少一個進行鏡面處理。

10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，還包括驅(qū)動銷，用于將所述頂環(huán)本體的旋轉(zhuǎn)力從所述保持環(huán)引導(dǎo)部傳遞到所述環(huán)部件；

其中，所述驅(qū)動銷和所述環(huán)部件的接觸表面中的任意一個包括低摩擦材料，所述低摩擦材料被定義為具有0.35或更小的摩擦系數(shù)的材料。

11.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其特征在于，對所述驅(qū)動銷和所述環(huán)部件的所述接觸表面中的另一個進行鏡面處理。

12.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動銷和所述環(huán)部件的所述接觸表面的所述低摩擦材料包括樹脂材料，所述樹脂材料包括聚四氟乙烯（PTFE）或PEEK·PPS。

13.一種用于拋光基板的設(shè)備，包括：

具有拋光表面的拋光臺；

設(shè)置成用于保持基板、并將基板壓靠到所述拋光表面的頂環(huán)本體；

設(shè)置在所述頂環(huán)本體的外周部分、并設(shè)置成用于壓靠所述拋光表面的保持環(huán)；以及

固定到所述頂環(huán)本體的液壓軸承，所述液壓軸承設(shè)置成用于將受壓流體噴射到所述保持環(huán)的環(huán)部件的外周面，以在所述環(huán)部件與所述液壓軸承之間形成流體膜。

14.如權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其特征在于，所述液壓軸承包括用于噴射所述受壓流體的多孔部件。

15.如權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其特征在于，所述受壓流體包括空氣或氮氣。

16.如權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其特征在于，所述多孔部件包括金屬、陶瓷或塑料，并且所述多孔部件具有多個細(xì)孔，所述細(xì)孔設(shè)置成用于使所述多孔部件的內(nèi)周側(cè)與所述多孔部件的外周側(cè)連通。

17.如權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其特征在于，所述液壓軸承包括設(shè)置成用于容納所述多孔部件的外殼。