[發明專利]同步監測泵浦光斑與樣品表面微結構的裝置及調整方法

有效

• 申請號: 201310156306.1
• 申請日: 2013-05-02
• 公開（公告）號: CN103257141A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 彭滟;朱亦鳴;陳向前;周云燕;方丹;洪淼;莊松林
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G02B27/10
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種同步監測泵浦光斑與樣品表面微結構的裝置，其特征在于，包括激光光源，隔離器，透鏡，旋轉底座，分束片，衰減片，CCD圖像傳感器，樣品臺，二維步進電機，第一反射鏡，第二反射鏡，第三反射鏡，光垃圾桶；分束片固定在旋轉底座上，可隨旋轉底座旋轉角度，樣品臺固定在二維電機上；激光光源發出的激光沿水平方向依次經過隔離器、透鏡、分束片聚焦樣品臺上，分束片下方，與激光垂直方向依次排衰減片和CCD圖像傳感器，經分束片反射激光垂直向上依次經過第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡后光反射回樣品背面，光垃圾桶為移動件，用于遮擋光路。

2.根據權利要求1所述同步監測泵浦光斑與樣品表面微結構的裝置，其特征在于，所述二維電機選用左右和上下移動的二維步進電機。

3.同步監測泵浦光斑與樣品表面微結構的裝置調整方法，包括同步監測泵浦光斑與樣品表面微結構的裝置，其特征在于，具體包括如下調整步驟：

1）監測泵浦光斑：轉動旋轉底座將分束片轉至與入射激光成45度夾角處，將光垃圾桶放置在樣品臺前，激光通過分束片，一部分光束被反射經衰減片進入CCD圖像傳感器，通過CCD圖像傳感器監測捕捉泵浦光斑，另一部分光束透過分束片進入光垃圾桶中；

2）反射型材料的表面微結構監測：轉動旋轉底座將分束片轉至與入射激光成135度夾角處，用光垃圾桶擋在分束片正上方，第一反射鏡前；激光通過分束片，一部分光束透過分束片打在樣品臺上的樣品上；部分激光被反射回來，經分束片反射后再經衰減片進入CCD圖像傳感器，通過CCD圖像傳感器監測采樣樣品表面微結構；另一部分光束將透過分束片進入隔離器；

3）透射型材料的表面微結構監測：移出光垃圾桶，轉動旋轉底座將分束片轉至與入射激光成135度夾角處，激光通過分束片，一部分光束透過分束片打在樣品臺上的樣品上，另一部分光束則被反射到第一反射鏡上，再經第二反射鏡和第三反射鏡，最終將這部分光束反射至樣品的背面，透過樣品再次被分束片反射經衰減片進入CCD圖像傳感器，通過CCD圖像傳感器監測采樣樣品表面微結構，多余光進入隔離器。