[發(fā)明專利]一種用于保持大口徑光學(xué)元件表面潔凈的沖掃裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310155856.1
• 申請(qǐng)日: 2013-04-28
• 公開（公告）號(hào): CN103230900A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁迎春;曹永智;盧禮華;于福利;張慶春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B08B5/02
• 分類號(hào): B08B5/02
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所(普通合伙) 23209
• 代理人: 張偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種物理光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的潔凈度保持裝置，具體是涉及一種用于保持大口徑光學(xué)元件表面潔凈的沖掃裝置。

背景技術(shù)

在激光傳輸光學(xué)組件的內(nèi)部安裝有許多具有不同功能的各種大口徑的光學(xué)元件，在激光通過大口徑光學(xué)元件的過程中，在這些光學(xué)元件的表面上的微小顆粒污染和有機(jī)物污染對(duì)激光的傳輸都會(huì)產(chǎn)生巨大的影響。通過對(duì)光學(xué)組件內(nèi)腔進(jìn)行沖掃可以有效提高潔凈度，但是由于激光通過光學(xué)元件時(shí)會(huì)產(chǎn)生氣溶膠，污染光學(xué)元件表面，因此光學(xué)元件表面需要進(jìn)一步的清理。目前還沒有合適的裝置來實(shí)現(xiàn)保持激光傳輸光學(xué)元件的潔凈度。綜上所述，亟需研制一種新型裝置來及時(shí)清理大口徑光學(xué)元件表面，使光學(xué)元件的潔凈度得到進(jìn)一步提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決激光通過光學(xué)元件時(shí)會(huì)產(chǎn)生氣溶膠，污染光學(xué)元件表面，光學(xué)元件表面需要進(jìn)一步的清理，目前還沒有合適的裝置來實(shí)現(xiàn)保持激光傳輸光學(xué)元件的潔凈度問題，進(jìn)而提供一種用于保持大口徑光學(xué)元件表面潔凈的沖掃裝置。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種用于保持大口徑光學(xué)元件表面潔凈的沖掃裝置包括進(jìn)氣端氣體輸送導(dǎo)管、不銹鋼氣刀、出氣端組件；不銹鋼氣刀和出氣端組件相對(duì)應(yīng)安裝在光學(xué)組件殼體上，不銹鋼氣刀和出氣端組件的安裝位置與光學(xué)組件殼體內(nèi)的大口徑光學(xué)組件相對(duì)應(yīng)，進(jìn)氣端氣體輸送導(dǎo)管連接在不銹鋼氣刀的進(jìn)氣口處。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下效果：高壓氣泵輸出的壓縮空氣由進(jìn)氣端氣體輸送導(dǎo)管進(jìn)入不銹鋼氣刀進(jìn)氣口，然后氣體進(jìn)入不銹鋼氣刀的高壓腔，沿噴嘴噴出，由于科恩達(dá)效應(yīng)，高速氣流在氣刀轉(zhuǎn)角處隨外形表面偏轉(zhuǎn)90°，并且?guī)?dòng)周圍空氣移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑光學(xué)元件的局部高速?zèng)_掃，使其表面污染及時(shí)得到清理，同時(shí)高速氣流使光學(xué)元件附近區(qū)域形成局部高潔凈度氣流環(huán)境，隔離外部污染。本發(fā)明的沖掃裝置能夠達(dá)到保持大口徑光學(xué)元件高潔凈度的效果，另外其結(jié)構(gòu)簡單，使用靈活方便。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的用于保持大口徑光學(xué)元件表面潔凈的沖掃裝置的總體結(jié)構(gòu)圖；

圖2是進(jìn)氣端氣體輸送導(dǎo)管、不銹鋼氣刀、出氣端組件和大口徑光學(xué)組件的位置關(guān)系圖；

圖3是不銹鋼氣刀的截面圖（箭頭表示氣流方向）。

具體實(shí)施方式

具體實(shí)施方式一：結(jié)合圖1至圖3說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式的一種用于保持大口徑光學(xué)元件表面潔凈的沖掃裝置包括進(jìn)氣端氣體輸送導(dǎo)管1、不銹鋼氣刀2、出氣端組件3；不銹鋼氣刀2和出氣端組件3相對(duì)應(yīng)安裝在光學(xué)組件殼體4上，不銹鋼氣刀2和出氣端組件3的安裝位置與光學(xué)組件殼體4內(nèi)的大口徑光學(xué)組件5相對(duì)應(yīng)，進(jìn)氣端氣體輸送導(dǎo)管1連接在不銹鋼氣刀2的進(jìn)氣口2-1處。

高壓氣泵輸出的壓縮空氣由進(jìn)氣端氣體輸送導(dǎo)管1進(jìn)入不銹鋼氣刀進(jìn)氣口2-1，然后氣體進(jìn)入不銹鋼氣刀2的高壓腔2-2，沿噴嘴2-3噴出，由于科恩達(dá)效應(yīng)，高速氣流在氣刀轉(zhuǎn)角2-4處隨外形表面偏轉(zhuǎn)90°，并且?guī)?dòng)周圍空氣移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑光學(xué)元件的局部高速?zèng)_掃。沖掃裝置進(jìn)氣潔凈度為百級(jí)，大口徑光學(xué)元件表面潔凈度可達(dá)到百級(jí)。