[發明專利]機械手無效
| 申請號: | 201310154852.1 | 申請日: | 2013-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN103204382A | 公開(公告)日: | 2013-07-17 |
| 發明(設計)人: | 李佳 | 申請(專利權)人: | 蘇州工業園區高登威科技有限公司 |
| 主分類號: | B65G47/91 | 分類號: | B65G47/91 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215121 江蘇省蘇州市蘇州工*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 機械手 | ||
技術領域
本發明涉及一種機械手,尤其涉及一種用于抓取單晶硅的機械手。
背景技術
在生產制造硅片時,需要將用來固定單晶硅的晶硅夾具、樹酯以及單晶硅通過膠水按序粘接起來。目前,在國內,將所述晶硅夾具、樹酯以及單晶硅粘接起來是通過手工來實現的。這樣使得硅片的生產效率比較低下、生產成本較高,不利于實現硅片的大規模生產。而要實現硅片的大規模自動化生產,則必須解決單晶硅的取放問題。現有的用來抓取單晶的機械手只能抓取一種規格的,對于不符合標準規格的小單晶硅則抓不起來。
鑒于上述問題,有必要提供一種機械手,以解決上述問題。
發明內容
針對現有技術的不足,本發明解決的技術問題是提供一種機械手,該機械手能夠抓取兩種不同規格的單晶硅。
為解決上述技術問題,本發明的技術方案是這樣實現的:
一種機械手,包括主機械手以及安裝在所述主機械手上的副機械手,所述主機械手包括主氣缸、安裝在所述主氣缸上的主連接件以及安裝在所述主連接件上的主吸盤;所述副機械手包括副氣缸、安裝在所述副氣缸上的副連接件以及安裝在所述副連接件上的副吸盤。
進一步地,所述副氣缸在安裝在所述主連接件的一側。
進一步地,所述主吸盤的數量為三。
進一步地,所述副吸盤的數量為二。
本發明的有益效果是:相較于現有技術,本發明所述機械手實現了抓取多種規格單晶硅的目的。
附圖說明
圖1為本發明機械手的立體示意圖。
具體實施方式
為了使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚,下面結合附圖和具體實施例對本發明進行詳細描述。
請參閱圖1所示,本發明機械手100包括主機械手10以及安裝在所述主機械手10上的副機械手20。所述主機械手10包括主氣缸11、安裝在所述主氣缸11上的主連接件12以及安裝在所述主連接件12上的主吸盤13,所述主連接件12可以在所述主氣缸11的作用下進行上下運動,所述主吸盤13用來吸住單晶硅。所述副機械手20包括副氣缸21、安裝在所述副氣缸21上的副連接件22以及安裝在所述副連接件22上的副吸盤23,所述副連接件22可以在所述副氣缸21的作用下進行上下運動。所述副氣缸21安裝在所述主連接件12的一側。在本實施例中,所述主吸盤13的數量為三,所述副吸盤23的數量為二。
當使用本發明機械手100時,如果要吸取較大的單晶硅時,則使用主機械手10;當要吸取較小的單晶硅30時,則使用副機械手20。
相較于現有技術,本發明所述機械手100實現了抓取多種規格單晶硅的目的。
特別需要指出,對于本領域的普通技術人員來說,在本發明的教導下所作的針對本發明的等效變化,仍應包含在本發明申請專利范圍所主張的范圍中。
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